Таруи, Ясуо. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Text] : перевод с японского / Я. Таруи. - Москва : Радио и связь, 1985. - 479 с. - ^aБиблиогр.: с. 454-474. - Б. ц.
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) Свободных экз. нет |
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации [Text] : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / [Ю. А. Родионов и др.] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. - Минск : БГУИР, 2017. - 69, [2] с. : ил. - ^aБиблиография в конце книги (7 назв.). - ISBN 978-985-543-249-5 : Б. ц.
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) ФОТОЛИТОГРАФИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ Доп.точки доступа: Родионов, Юрий Анатольевич (микроэлектроника); Котов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук); Плебанович, Владимир Иванович; Ковальчук, Наталья Станиславовна (кандидат технических наук) Свободных экз. нет |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника). Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Москва : Инфра-Инженерия, 2019. - 350 с. : ил., цв. ил., табл., схемы. - ^aБиблиография: с. 350 (5 назв.). - ISBN 978-5-9729-0337-5 (в переплете) : Б. ц.
НАНОЭЛЕКТРОНИКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ОБРАБОТКА ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) МЕТАЛЛИЗАЦИЯ ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ Свободных экз. нет |
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под общей редакцией А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука, 2020. - 259, [1] с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав и в подстрочных примечаниях. - ISBN 978-985-08-2521-6 (в переплете) : Б. ц.
ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА МНОГОКРИСТАЛЬНЫЕ МОДУЛИ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955); Голосов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук ; род. 1971); Емельянов, Виктор Владимирович; Завадский, Сергей Михайлович (кандидат технических наук); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук, электроника ; род. 1948); Мадвейко, Сергей Игоревич (кандидат технических наук ; род. 1984); Мельников, Сергей Николаевич (кандидат технических наук); Никитюк, Юрий Валерьевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкий, Александр Николаевич (кандидат физико-математических наук); Петухов, Игорь Борисович (кандидат технических наук); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Плебанович, Владимир Иванович; Солодуха, Виталий Александрович (кандидат технических наук, электроника); Соколов, Сергей Иванович (физик); Телеш, Евгений Владимирович; Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960) Свободных экз. нет |
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы [Text] : учебник для бакалавриата и магистратуры / В. И. Иванов [и др.] ; под редакцией Ю. В. Гуляева. - Москва : Юрайт, 2019. - 460 с. : ил., табл. - (Университеты России). - ^aБиблиография: с. 405—406 (18 назв.). - ISBN 978-5-534-03170-6 (в переплете) : Б. ц.
РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ СРЕДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ ОКСИДИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ ЛИТОГРАФИЯ (электроника) ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ГЕРМЕТИЗАЦИЯ СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ ВАКУУМ-ВЫПАРИВАНИЕ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ЭПИТАКСИАЛЬНОЕ НАРАЩИВАНИЕ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Иванович (радиоэлектроника); Лучников, Петр Александрович; Сигов, Александр Сергеевич (доктор физико-математических наук ; род. 1945); Суржиков, Анатолий Петрович; Гуляев, Юрий Васильевич (доктор физико-математических наук ; род. 1935) \.\ Свободных экз. нет |