Коваленко, Владимир Сергеевич.

    Металлографические реактивы [Text] : справочник / В. С. Коваленко. - Изд. 3-е, перераб. и доп. - Москва : Металлургия, 1981. - 120 с. - ^aБиблиогр.: с. 110-116 (234 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: МЕТАЛЛЫ
   МЕТАЛЛОГРАФИЯ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ


Свободных экз. нет



    Коваленко, Владимир Сергеевич.

    Металлографические реактивы [Text] : справочник / В. С. Коваленко. - Изд. 2-е, перераб. и доп. - Москва : Металлургия, 1973. - 110 с. - ^aБиблиогр.: с. 100-105 (193 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: МЕТАЛЛЫ
   МЕТАЛЛОГРАФИЯ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ


Свободных экз. нет



    Коваленко, Владимир Сергеевич.

    Металлографические реактивы [Text] : справочник / В. С. Коваленко. - Москва : Металлургия, 1970. - 134 с. - ^aБиблиогр.: с. 124-129 (175 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: МЕТАЛЛЫ
   МЕТАЛЛОГРАФИЯ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ


Свободных экз. нет



   

    Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС [Text] : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и нанотехнологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы", 1-41 01 04 "Нанотехнологии и наноматериалы в электронике" / [Д. А. Котов и др.] ; Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - 67, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 66—68 (37 назв.). - ISBN 978-985-543-477-2 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
   МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ

   МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ОСАЖДЕНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ



Доп.точки доступа:
Котов, Дмитрий Анатольевич (кандидат технических наук); Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника); Ясюнас, Александр Алексеевич (наноэлектроника ; род. 1985); Ковальчук, Наталья Станиславовна (кандидат технических наук)
Свободных экз. нет



    Бодров, Евгений Эдуардович.

    Основы технологии электронной компонентной базы [Text] : учебное пособие / Е. Э. Бодров. - Москва : Инфра-Инженерия, 2022. - 201 с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография: с. 198 (5 назв.). - ISBN 978-5-9729-0846-2 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ

   РЕЗИСТОРЫ

   КОНДЕНСАТОРЫ

   ИНДУКТИВНОСТЬ

   МОП-СТРУКТУРЫ

   КМОП (технология)

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ОКСИДИРОВАНИЕ

   ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ

   ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ПРИМЕСНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ

   ДИФФУЗИЯ

   ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ

   ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)

   МЕТАЛЛИЗАЦИЯ

   КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

   ВЫПУСК ПРОДУКЦИИ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ЛЕГИРОВАНИЕ

   ФОТОЛИТОГРАФИЯ


Свободных экз. нет



   

    Химическое фрезерование [Text]. - Минск : Выш. шк., 1973. - 184 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ФРЕЗЕРОВАНИЕ (техн.)
   ФРЕЗЕРНЫЕ РАБОТЫ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ


Свободных экз. нет



    Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника).

    Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Text] : учебное пособие / Ю. А. Родионов. - Санкт-Петербург [и др.] : Лань, 2021. - 218 с. : ил., табл. - (Высшее образование). - ^aБиблиография: с. 216 (8 назв.). - ISBN 978-5-8114-5788-5 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

   ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

   ХИМИЧЕСКИЕ РЕАКТИВЫ

   ХИМИЧЕСКАЯ ОЧИСТКА

   ФОТОРЕЗИСТЫ

   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ

   ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ

   ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ


Свободных экз. нет