Дворина, Л. А.     Перспективы развития исследований в области силицидов [Text] : препринт / Л. А. Дворина. - Киев, 1991. - 33 с. - (Препринт ; N91-N2). - Б. ц. Перевод заглавия: ^aPerspectives of development of studies in silicides field     Содержание:    Перевод заглавия: ^aPerspectives of development of studies in silicides field ГРНТИ ^a61.31.47 УДК ^a661.685(04) Рубрики: Силициды Свободных экз. нет

H¤akansson, L.     Electronic structure investigations of some transition metal carbide and silicide surfaces [Text] : akad. avh / L. H¤akansson. - Linkoping : Linkoping univ. Dep. of physics a. measurement technology, 1993. - 132 с : граф. - (Linkoping studies in science a. technology Diss., ISSN 0345-7524 ; n 294). - ISBN 91-7871-045-6 : Б. ц. ; Библиогр. в конце разд Перевод заглавия: 0 ^aИсследования электронной структуры поверхности некоторых карбидов и силицидов переходных металлов:Дис    Перевод заглавия: 0 ^aИсследования электронной структуры поверхности некоторых карбидов и силицидов переходных металлов:Дис ГРНТИ ^a31.15.35 Рубрики: <Карбиды>    <Силициды>    <Поверхностные> <явления> Свободных экз. нет

Киффер, Рихард.     Твердые материалы [Text] : перевод с немецкого / Р. Киффер, Ф. Бенезовский. - Москва : Металлургия, 1968. - 384 с. - ^aБиблиогр. в конце гл. - Б. ц. УДК ^a669.018.25^v4^zrus Рубрики: НИТРИДЫ    КАРБИДЫ    БОРИДЫ    СИЛИЦИДЫ    ПОЛУЧЕНИЕ    СВОЙСТВА    ПРИМЕНЕНИЕ    ТУГОПЛАВКИЕ МАТЕРИАЛЫ    БИНАРНЫЕ СИСТЕМЫ Кл.слова (ненормированные): 0 ; ТВЕРДЫЕ МАТЕРИАЛЫ Доп.точки доступа: Бенезовский, Фридрих Свободных экз. нет

^aВ379.231.5,0^2rubbk     Корнфельд, Иосиф Николаевич.     Экспериментальное моделирование контактов силицид металла - полупроводник [Text] : монография / И. Н. Корнфельд ; Воронеж. ин-т высоких технологий, Рос. новый ун-т (Воронеж. фил.). - Воронеж : Науч. кн., 2008. - 87 с. : ил ; 21 см. - ^aБиблиогр.: с. 84-87. - ISBN 978-5-98222-323-4 : Б. ц. РУБ Рубрики: Металл-диэлектрик-полупроводник    Силициды Свободных экз. нет

Интегрированные технологии микро- и наноструктурированных слоев [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией A. П. Достанко, В. Л. Ланина. - Минск : Бестпринт, 2013. - 188 с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-6873-68-6 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.13^96 УДК ^a621.3.049.77^v4^zrus ^a621.38-022.532^v4^zrus Рубрики: НАНОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    НАНОМАТЕРИАЛЫ    МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    СИЛИЦИДЫ    ИОННЫЕ ПУЧКИ    МИКРОСТРУКТУРЫ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (кандидат технических наук); Ануфриев, Леонид Петрович (доктор технических наук ; род. 1945); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук ; род. 1948) \.\ Свободных экз. нет

Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии [Text] : [монография] / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. - Минск : Интегралполиграф, 2013. - 782, [1] с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-6845-46-1 : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31^96 УДК ^a621.382.2/.3.049.77^v4^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ    СИЛИЦИДЫ    СТАТИСТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Многоуровневая металлизация -- 0 ; Планаризация Доп.точки доступа: Наливайко, Олег Юрьевич; Солодуха, Виталий Александрович (электроника); Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1949); Колос, Владимир Владимирович (кандидат физико-математических наук); Турцевич, Аркадий Степанович (доктор технических наук ; род. 1958) \.\ Свободных экз. нет

^a81.09^2rugasnti     Asian school-conference on physics and technology of nanostructured materials (2 ; 2013 ; Vladivostok).     Second Asian school-conference on physics and technology of nanostructured materials [Text] : vladivostok, Russia, August 20-27, 2013 / [in charge of publication: Nikolay G. Galkin]. - Vladivostok : Dalnauka, 2013. - 265 p. : fig., tab. ; 29 см. - : 2nd Asian school-conference on physics and technology of nanostructured materials. - ^aБиблиогр. в конце ст. - ^aInd.: p. 263-265. - ISBN 978-5-8044-1393-5 : Б. ц. ГРНТИ ^a81.09 ^a55.09.43 УДК ^a620.3(06)^v4^zrus ^a539.2-022.532(06)^v4^zrus РУБ + Рубрики: НАНОМАТЕРИАЛЫ    ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ    ХИМИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ    ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ    САМООРГАНИЗАЦИЯ    УГЛЕРОДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ    СИЛИЦИДЫ    ЦИФРОВОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ    МОЛЕКУЛЯРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ    НАНОСТРУКТУРЫ    НАНОСИСТЕМЫ    ФЕРРОМАГНЕТИКИ    СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ    ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ    НЕЛИНЕЙНАЯ ОПТИКА    ОПТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ    ЛАЗЕРНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ    НАНОКОМПОЗИТЫ    ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ГИБРИДНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    НАНОУСТРОЙСТВА    БИОМАТЕРИАЛЫ    БИОМИМЕТИКИ    БИОМИНЕРАЛЫ    БИОЛОГИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ    ПРИКЛАДНОЙ АСПЕКТ Доп.точки доступа: Галкин, Николай Геннадьевич \.\ Свободных экз. нет

Формирование элементов мегабитовых ДОЗУ [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1980-1986 гг. / Г. В. Васильев [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 70 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.357.8^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    СИЛИЦИДЫ    ТРАВЛЕНИЕ Доп.точки доступа: Васильев, Г. В. (микроэлектроника) Свободных экз. нет

Качурина, Е. Е.     Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводников приборов и интегральных схем [Text] : обзор / Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова. - М. : [s. n.], 1982. - 44 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2(048.8)^v3^zrus Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ    СИЛИЦИДЫ Доп.точки доступа: Мякиненков, В. И.; Щеглова, В. В. Свободных экз. нет

Качурина, Е. Е.     Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводников приборов и интегральных схем [Text] : обзор / Е. Е. Качурина, В. И. Мякиненков, В. В. Щеглова. - М. : [s. n.], 1982. - 36 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2(048.8)^v3^zrus Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ    СИЛИЦИДЫ Доп.точки доступа: Мякиненков, В. И.; Щеглова, В. В. Свободных экз. нет

Осаждение силицидов тугоплавких металлов из газовой фазы, их свойства и состав (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1986 гг.) [Text] : обзор / И. А. Голод [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 52 с. - Б. ц. УДК ^a621.793.164(048.8)^v3^zrus Рубрики: ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ    СИЛИЦИДЫ    ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ Доп.точки доступа: Голод, И. А. Свободных экз. нет

Окисление силицидов тугоплавких металлов и его применение в технологии полупроводниковых приборов и ИС [Text] : (по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1978-1987 гг.) / М. А. Королев [и др.]. - М. : [s. n.], 1988. - 22 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.551(048.8)^v3^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ    СИЛИЦИДЫ    ОКИСЛЕНИЕ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Королев, Михаил Александрович (доктор технических наук) Свободных экз. нет

Кулак, Михаил Михайлович (доктор технических наук, физик ; род. 1952).     Структурообразование при самораспространяющемся высокотемпературном синтезе в ультразвуковом и центробежном полях [Text] / М. М. Кулак, Б. Б. Хина ; Национальная академия наук Беларуси, Институт технической акустики. - Минск : Беларуская навука, 2023. - 233, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. - ^aБиблиография: с. 218—234 (232 назв.). - ISBN 978-985-08-3048-7 : Б. ц. ; На обложке: 95 лет Национальной академии наук Беларуси ГРНТИ ^a29.37.17^v6 ^a61.13^v6 УДК ^a536.45:534-8^v4^zrus ^a66.091.3.084.8-977^v4^zrus Рубрики: СТРУКТУРООБРАЗОВАНИЕ    ФАЗОВЫЙ СОСТАВ    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)    ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ    САМОРАСПРОСТРАНЯЮЩИЙСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СИНТЕЗ    УЛЬТРАЗВУК    ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ    ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    ТИТАН (хим.)    КАРБИДЫ    СИЛИЦИДЫ    БОРИДЫ    ТЕПЛОВЫЕ СВОЙСТВА Доп.точки доступа: Хина, Борис Борисович (доктор физико-математических наук ; род. 1955) Свободных экз. нет