Мадвейко, Сергей Игоревич (электроника ; род. 1984). Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Мадвейко Сергей Игоревич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : [s. n.], 2013. - 25 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—22 (40 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ПЛАЗМАТРОНЫ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ СВЧ ПЛАЗМА КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет |
Беляева, Нина Константиновна. Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов [Text] : обзор / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова ; Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. - М. : [s. n.], 1981. - 50 с. - Б. ц.
ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ РАЗРЯДЫ СВЧ ПЛАЗМА ТРАВЛЕНИЕ Доп.точки доступа: Маштакова, Антонина Ивановна Свободных экз. нет |