Вопросы химии и химической технологии [Text] : республиканский межведомственный тематический научно-технический сборник. - [S. l. : s. n.], 1974. - 165 с. - Б. ц.
ЭЛЕКТРОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ХИМИЯ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Плазмохимический синтез Свободных экз. нет |
Вопросы химии и химической технологии [Text] : республиканский межведомственный тематический научно-технический сборник. - [S. l. : s. n.], 1976. - 132 с. - Б. ц.
ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ЭЛЕКТРОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ЭЛЕКТРОХИМИЯ ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ХИМИЯ Свободных экз. нет |
Артамонов, Анатолий Григорьевич. Математическое регулирование и оптимизация плазмохимических процессов [Text] / А. Г. Артамонов, В. М. Володин, В. Г. Авдеев. - Москва : Химия, 1989. - 224 с. - ^aБиблиогр.: с. 218-220. - ISBN 5-7245-0285-2 : Б. ц.
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ОПТИМИЗАЦИЯ Доп.точки доступа: Володин, Виктор Михайлович; Авдеев, Виктор Гордеевич Свободных экз. нет |
Григорьев, Сергей Николаевич (1960- ). Плазменная обработка [Text] / С. Н. Григорьев, С. В. Федоров. - Москва : ИТО, 2010. - 59 с. : ил. - (Библиотека технолога : в 6 кн. ; кн. 3. Современные технологические процессы и оборудование). - Б. ц.
ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ ПЛАЗМОТРОНЫ ПЛАЗМЕННАЯ СВАРКА ПЛАЗМЕННАЯ РЕЗКА ПЛАЗМЕННАЯ НАПЛАВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОСНАСТКА ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ Доп.точки доступа: Федоров, Сергей Вольдемарович Свободных экз. нет |
Крапивина, Светлана Алексеевна. Плазмохимические технологические процессы [Text] / С. А. Крапивина. - Ленинград : Химия, Ленинградское отделение, 1981. - 247 с. - ^aБиблиография: с. 239—246 (181 назв.). - Б. ц.
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА АЦЕТИЛЕН УГЛЕВОДОРОДНОЕ СЫРЬЕ Свободных экз. нет |
Интегрированные технологии микро- и наноструктурированных слоев [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией A. П. Достанко, В. Л. Ланина. - Минск : Бестпринт, 2013. - 188 с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-6873-68-6 (в переплете) : Б. ц.
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА НАНОМАТЕРИАЛЫ МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ СИЛИЦИДЫ ИОННЫЕ ПУЧКИ МИКРОСТРУКТУРЫ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (кандидат технических наук); Ануфриев, Леонид Петрович (доктор технических наук ; род. 1945); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук ; род. 1948) \.\ Свободных экз. нет |
Данилин, Борис Степанович. Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1973-1984 гг. / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : [s. n.], 1984. - 56 с. - Б. ц.
МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.) ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ) Свободных экз. нет |
Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа AsupIII/supBsupV/sup [Text] : обзор / В. И. Светцов [и др.]. - М. : [s. n.], 1989. - 47 с. - Б. ц.
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ Доп.точки доступа: Светцов, В. И. Свободных экз. нет |
Паркин, А. А. Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур [Text] : автореф. дис. ... канд. техн. наук / А. А. Паркин. - Киев : [s. n.], 1982. - 18 с. - Б. ц.
ИССЛЕДОВАНИЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Свободных экз. нет |
Применение плазменной и плазмохимической технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов [Text] : обзор / В. Н. Бойных [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 72 с. - Б. ц.
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Бойных, В. Н. Свободных экз. нет |
Плазмохимические установки [Text] : обзор / И. Г. Гафаров [и др.]. - М. : [s. n.], 1991. - 54 с. - Б. ц.
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМАТРОНЫ Доп.точки доступа: Гафаров, И. Г. Свободных экз. нет |