Марголин, В. И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация [Text] : учеб.пособие / В. И. Марголин, В. А. Тупик. - СПб : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2000. - 55 с. : ил. - ^aБиблиогр.:с.54. - ISBN 5-7629-0297-8 : Б. ц. В надзаг.:С.-Петерб.гос.электротехн.ун-т "ЛЭТИ".
Ионное внедрение Доп.точки доступа: Тупик, В.А. Свободных экз. нет |
Гайфуллин, Б. Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии [Текст] : препринт / Б. Н. Гайфуллин. - Черноголовка, 1993. - 20 c. - Б. ц. Перевод заглавия: ^aData origination system for the electron beam lithography Содержание: Перевод заглавия: ^aData origination system for the electron beam lithography
Свободных экз. нет |
Силаков, М. В. Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии [Text] : препринт / Силаков М.В., Бабушкин Г.А., Валиев К.А. и др. - М., 2003. - 64 с. : ил. - (Препринт / Физико-технологический ин-т (Москва) ; 24(2003)). - ^aБиблиогр.: с. 56-64(84 назв.). - Б. ц. Перевод заглавия: ^aInvestigation of numerical models of the electron scattering in a solid target as applied to the high-energy electronic lithography^ePreprint Содержание: Перевод заглавия: ^aInvestigation of numerical models of the electron scattering in a solid target as applied to the high-energy electronic lithography^ePreprint
Доп.точки доступа: Бабушкин, Г.А.; Валиев, К.А. Свободных экз. нет |
Hiroshima, H. Sinopsis [Text] : сборник научных трудов / H. Hiroshima. - Tsukuba : [s. n.], 2000. - II,55 p. : ill. - (Researches / Electrotechnical laboratory(Tokyo), ISSN 0366-9106 ; n991). - ^aРез.англ.Текст яп.Библиогр.в конце ст. - Б. ц.
Свободных экз. нет |
Groger, R. Wissenschaftliche Berichte [Text] : diss. / FZKA. - Karlsruhe : [s. n.], 2007. - VI, 130 S.с. : Ill. - ^aБиблиогр.: с. 121-130 (129 назв.). - ISSN 0947-8620. - Б. ц. ; Рез. англ.
Свободных экз. нет |
Лыньков, Л. М. Субмикронная литография [Text] : сборник / Л. М. Лыньков, С. Л. Прищепа. - Минск : [s. n.], 1999. - 205 с. : ил. - ^aВ надзаг.Белорусский гос.ун-т информатики и радиоэлектроники.Библиогр.:с.197-205. - ISBN 985-444-036-2 : Б. ц.
Фотолитография Рентгенолитография Ионолитография Доп.точки доступа: Прищепа, С.Л. Свободных экз. нет |
Макарчук, В. В. Наноинженерия [Text] : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 171 (10 назв.). - ISBN 978-5-7038-3500-5 : Б. ц.
Нанотехнологии Доп.точки доступа: Родионов, И.А.; Цветков, Ю.Б. Свободных экз. нет |
Панфилов, Ю. В. Наноинженерия [Text] : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 178-179 (11 назв.). - ISBN 978-5-7038-3499-2 : Б. ц.
Доп.точки доступа: Утенков, В.М.; Михайлов, В.П. Свободных экз. нет |