Балохонов, Дмитрий Валентинович (кандидат технических наук).

    Технологические среды [Text] : пособие для студентов специальности 1-41 01 01 "Технология материалов и компонентов электронной техники" / Д. В. Балохонов ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Микро- и нанотехника". - Минск : БНТУ, 2018. - 71, [1] с. : ил., табл., черт., схемы. - ^aБиблиография: с. 71 (10 назв.). - ISBN 978-985-583-049-9 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ
   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

   ОЧИСТКА ВОЗДУХА

   ВАКУУМ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ

   ФИЛЬТРАЦИЯ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ

   Беларусь, Республика

Свободных экз. нет



   

    Чистые помещения [Text] : пер. с яп. / под ред. И. Хаякавы. - М. : Мир, 1990. - 456 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ



Доп.точки доступа:
Хаякава, И. \.\
Свободных экз. нет



   

    Чистые помещения в микроэлектронном производстве и условия в них труда. Разработка систем автоматического распознавания целей [Text] : обзор. - М. : [s. n.], 1992. - 39 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ

   РАЗРАБОТКА

   РАСПОЗНАВАНИЕ ЦЕЛИ

   УСЛОВИЯ ТРУДА


Свободных экз. нет



    Минскер, Феликс Ефимович.

    Организация труда в чистых модулях по производству БИС и СБИС [Text] : учеб. пособие / Ф. Е. Минскер. - М. : Высш. шк., 1989. - 80 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ

   ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА


Свободных экз. нет



   

    Совершенствование чистых производственных помещений для изготовления полупроводниковых приборов [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1985-1988 гг. / Ю. Л. Баранов, И. И. Круглов. - М. : [s. n.], 1989. - 60 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ
   ПРОИЗВОДСТВО

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ

   ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ



Доп.точки доступа:
Баранов, Ю. Л.; Круглов, И. И.
Свободных экз. нет



   

    Новое в создании фильтрующих элементов для чистых помещений [Text] : обзор / Л. Ф. Иртегова [и др.]. - М. : [s. n.], 1992. - 22 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ
   ФИЛЬТРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ



Доп.точки доступа:
Иртегова, Л. Ф.
Свободных экз. нет