Рабинович, Олег Игоревич.     Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов [Text] : учебно-методическое пособие / О. И. Рабинович, Д. Г. Крутогин, В. А. Евсеев ; Министерство образования и науки РФ, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - Москва : МИСиС, 2012. - 80 с. : ил. - ^aБиблиография в конце разделов. - ISBN 978-5-87623-566-4 : Б. ц. ; На обложке и титульном листе: № 2103 ГРНТИ ^a29.19.16^96 УДК ^a539.216.2(075)^v4^zrus Рубрики: МОЛЕКУЛЯРНО-ПУЧКОВАЯ ЭПИТАКСИЯ    ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ Доп.точки доступа: Крутогин, Дмирий Григорьевич; Евсеев, Владимир Алексеевич Свободных экз. нет

Перов, Г. В.     Особенности технологии формирования и электрофизические свойства изолирующих слоев в микросхемах памяти с поликремниевым затвором [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1970-1983 гг. / Г. В. Перов, М. А. Ульев. - М. : [s. n.], 1984. - 67 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.61.002.5:546.28(048.8)^v3^zrus ^a681.327.67(048.8)^v3^zrus Рубрики: ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ    ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ    ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА Доп.точки доступа: Ульев, М. А. Свободных экз. нет