Фатьянова, Галина Ивановна.

    Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Фатьянова Галина Ивановна. - Москва : [s. n.], 2005. - 22 с. - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

Кл.слова (ненормированные):
0 ; Электронно-оптические приборы

Свободных экз. нет



    Поплавский, Василий Владимирович (кандидат физико-математических наук ; род. 1948).

    Формирование гетерогенных катализаторов с применением ионных пучков [Text] : [монография] / В. В. Поплавский. - Минск : БГТУ, 2010. - 250 с. : ил., схемы. - ^aБиблиогр.: с. 231-248 (223 назв.). - ISBN 978-985-530-017-6 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ГЕТЕРОГЕННЫЕ КАТАЛИЗАТОРЫ
   ИОННЫЕ ПУЧКИ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   КАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

   ЭЛЕКТРОКАТАЛИЗ


Свободных экз. нет



   

    Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под ред. А. П. Достанко. - Минск : Бестпринт, 2009. - 198 с. - ^aБиблиогр. в конце глав. - ISBN 978-985-6963-05-9 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ
   РАСПЫЛЕНИЕ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ЭЛЕКТРОНИКА

   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ПЛАЗМА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ



Доп.точки доступа:
Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Залесский, Виталий Геннадьевич (кандидат физико-математических наук ; род. 1971); Русецкий, Анатолий Максимович (доктор технических наук ; род. 1951); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук ; род. 1948); Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (Минск)
Свободных экз. нет



    Данилин, Борис Степанович.

    Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов [Text] / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - Москва : Энергоатомиздат, 1987. - 263 с. - ^aБиблиогр.: с. 252-260 (195 назв.). - Б. ц.
УДК
Рубрики: ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
   НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ОЧИСТКА

   ТРАВЛЕНИЕ



Доп.точки доступа:
Киреев, Валерий Юрьевич
Свободных экз. нет



    Чубаров, Евгений Петрович.

    Контроль и регулирование с подвижным локальным воздействием [Text] / Е. П. Чубаров ; под редакцией Г. П. Катыса. - Москва : Энергия, 1977. - 208, [1] с., включая обложку : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 200—208 (163 назв.). - Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КОНТРОЛЯ СИСТЕМЫ
   РЕГУЛИРОВАНИЕ

   ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНИКА



Доп.точки доступа:
Катыс, Георгий Петрович \.\
Свободных экз. нет



    Карпович, Анна Николаевна (кандидат технических наук).

    Повышение эксплуатационных свойств поверхностных слоев хромистых, хромоникелевых и вольфрамомолибденовых сталей методом ионно-лучевого азотирования [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Карпович Анна Николаевна ; Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси". - Минск : [s. n.], 2017. - 23 с. : ил., цв. ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (23 назв.). - Б. ц.
; Резюме на белорусском, русском, английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   АЗОТИРОВАНИЕ

   ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ

   ХРОМИСТЫЕ СТАЛИ

   ХРОМОНИКЕЛЕВЫЕ СТАЛИ

   ЭКСПЛУАТАЦИОННЫЕ СВОЙСТВА

   АВТОРЕФЕРАТЫ


Свободных экз. нет



   

    Инженерия поверхностей конструкционных материалов с использованием плазменных и пучковых технологий [Text] / [А. В. Белый и др.] ; Национальная академия наук Беларуси, Физико-технический институт, Объединенный институт машиностроения, Белорусский национальный технический университет. - Минск : Беларуская навука, 2017. - 456, [1] с. : ил., цв. ил., схемы, табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-08-2140-9 (в переплете) : Б. ц.
; На обложке: Год науки — 2017

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ИНЖЕНЕРИЯ ПОВЕРХНОСТИ
   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ПЛАЗМЕННЫЕ СТРУИ

   ЛАЗЕРНОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ

   ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА

   КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ

   ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ЭНЕРГИИ

   ПОВЕРХНОСТНЫЙ СЛОЙ

   ИНСТРУМЕНТАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   АЗОТИРОВАНИЕ



Доп.точки доступа:
Белый, Алексей Владимирович (доктор технических наук ; род. 1950); Калиниченко, Александр Сергеевич (доктор технических наук ; род. 1949); Девойно, Олег Георгиевич (доктор технических наук); Кукареко, Владимир Аркадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1948)
Свободных экз. нет



   

    Современные методы и технологии создания и обработки материалов [Text] : сборник научных трудов / [редколлегия: А. В. Белый и др.]. - [S. l. : s. n.], 2017. - 368, [1] с. : ил., табл., схемы. - ^aБиблиография в конце статей. - ISBN 978-985-6441-53-3 : Б. ц.
; Текст на русском и английском языках

ГРНТИ
УДК
Рубрики: КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ЭНЕРГИИ

   НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ

   ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ

   МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА



Доп.точки доступа:
Волочко, Александр Тихонович (доктор технических наук) \.\; Залесский, Виталий Геннадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1971) \.\; Гордиенко, Анатолий Илларионович (доктор технических наук ; род. 1941) \.\; Поболь, Игорь Леонидович \.\; Кожевникова, Гражина Валерьевна (доктор технических наук ; род. 1966) \.\; Пантелеенко, Федор Иванович (доктор технических наук ; род. 1950) \.\; Латушкина, Светлана Дмитриевна (кандидат технических наук) \.\; Кукареко, Владимир Аркадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1948) \.\; Клубович, Владимир Владимирович (доктор технических наук ; род. 1933) \.\; Калиниченко, Александр Сергеевич (доктор технических наук ; род. 1949) \.\; Поко, Ольга Александровна (кандидат технических наук ; род. 1950) \.\; Физико-технический институт (Минск)
Свободных экз. нет



    Рогов, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1956).

    Технология конструкционных материалов. Обработка концентрированными потоками энергии [Text] : учебное пособие для бакалавриата и магистратуры / В. А. Рогов, А. Д. Чудаков, Л. А. Ушомирская. - 2-е изд., исправленное и дополненное. - Москва : Юрайт, 2016. - 253 с. : ил., табл., схемы. - (Технология машиностроения) (Бакалавр и магистр. Модуль) (Соответствует программам ведущих научно-образовательных школ) (МО рекомендует). - ^aБиблиография: с. 251—253 (31 назв.). - ISBN 978-5-9916-8534-4 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
   НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ РАЗРЯДЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА

   ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА

   МИКРОДУГОВОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ

   ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА



Доп.точки доступа:
Чудаков, Александр Давидович (доктор технических наук); Ушомирская, Людмила Алексеевна (доктор технических наук)
Свободных экз. нет



    Рогов, Владимир Александрович (доктор технических наук ; род. 1956).

    Технология конструкционных материалов. Обработка концентрированными потоками энергии [Text] : учебное пособие для бакалавриата и магистратуры / В. А. Рогов, А. Д. Чудаков, Л. А. Ушомирская. - 2-е изд., исправленное и дополненное. - Москва : Юрайт, 2017. - 253 с. : ил., табл., схемы. - (Технология машиностроения) (Бакалавр и магистр. Модуль) (МО рекомендует). - ^aБиблиография: с. 251—253 (31 назв.). - ISBN 978-5-534-01343-6 (в переплете) : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ РАЗРЯДЫ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   ИМПУЛЬСНАЯ ОБРАБОТКА

   ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА

   МИКРОДУГОВОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ

   ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА

   НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

   МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА

   ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА



Доп.точки доступа:
Чудаков, Александр Давидович (доктор технических наук); Ушомирская, Людмила Алексеевна (доктор технических наук)
Свободных экз. нет



   

    Современные методы и технологии создания и обработки материалов [Text] : сборник научных трудов / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси" ; [редколлегия: В. Г. Залесский (главный редактор) и др.]. - [S. l. : s. n.], 2020. - 281, [1] с. : ил., табл. - ^aРезюме статей параллельно на русском и английском языках. - ^aБиблиография в конце статей. - ^aИменной указатель: с. 280?282. - ISBN 978-985-6441-62-5 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ
   ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ

   МЕТАЛЛООБРАБОТКА

   МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ИНЖЕНЕРИЯ ПОВЕРХНОСТИ

   КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ



Доп.точки доступа:
Залесский, Виталий Геннадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1971) \.\; Волочко, Александр Тихонович (доктор технических наук) \.\; Басалай, Анна Владимировна (кандидат технических наук ; род. 1984) \.\; Белый, Алексей Владимирович (доктор технических наук ; род. 1950) \.\; Гордиенко, Анатолий Илларионович (доктор технических наук ; 1941—2021) \.\; Зеленин, Виктор Алексеевич (доктор технических наук ; род. 1941) \.\; Калиниченко, Александр Сергеевич (доктор технических наук ; род. 1949) \.\; Клубович, Владимир Владимирович (доктор технических наук ; род. 1933) \.\; Кожевникова, Гражина Валерьевна (доктор технических наук ; род. 1966) \.\; Кукареко, Владимир Аркадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1948) \.\; Латушкина, Светлана Дмитриевна (кандидат технических наук) \.\; Овчаренко, Владимир Ефимович (доктор технических наук ; род. 1945) \.\; Пантелеенко, Федор Иванович (доктор технических наук ; род. 1950) \.\; Поболь, Игорь Леонидович (доктор технических наук ; род. 1952) \.\; Физико-технический институт (Минск)
Свободных экз. нет



    Коновалов, А. И. (электронная техника).

    Технология и оборудование для ионно-лучевой обработки материалов [Text] / А. И. Коновалов, В. И. Орлов. - М. : [s. n.], 1982. - 63 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ

   ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА



Доп.точки доступа:
Орлов, В. И.
Свободных экз. нет



    Свадковский, И. В.

    Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000 эВ [Text] : автореф. дис. ... канд. техн. наук / И. В. Свадковский. - Минск : [s. n.], 1993. - 20 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
   ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ


Свободных экз. нет



    "Ионно-лучевая модификация полупроводниковых и других материалов микроэлектроники" (III ; 1991 ; Новосибирск).

    Программа и тезисы докладов... (Новосибирск, 4-6 июня 1991 г.) [Text] / "Ионно-лучевая модификация полупроводниковых и других материалов микроэлектроники" (III ; 1991 ; Новосибирск) . - Новосибирск : [s. n.], 1991. - 149 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
   МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

   МОДИФИЦИРОВАНИЕ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ

   ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ


Свободных экз. нет



   

    Ионно-лучевая технология пассивных интегральных схем СВЧ на арсениде галлия [Text] : обзор / Б. В. Козейкин [и др.]. - М. : [s. n.], 1990. - 59 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: АРСЕНИД ГАЛЛИЯ
   СВЕРХВЫСОКИЕ ЧАСТОТЫ

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА



Доп.точки доступа:
Козейкин, Б. В.
Свободных экз. нет



   

    Развитие ионно-лучевых технологий (анализ зарубежных изобретений) [Text] : обзор / С. Ф. Пирятинская, А. А. Гончаров. - Киев : [s. n.], 1989. - 72 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
   ИЗОБРЕТЕНИЯ

   ЗАРУБЕЖНЫЙ ОПЫТ



Доп.точки доступа:
Пирятинская, С. Ф.; Гончаров, А. А.
Свободных экз. нет



   

    Современные методы и технологии создания и обработки материалов [Text] : сборник научных трудов / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси" ; [редакционная коллегия: В. Г. Залесский (главный редактор) и др.]. - [S. l. : s. n.], 2023. - 301 с. : ил., табл., цв. ил. - ^aБиблиография в конце статей. - ^aИменной указатель: с. 298—301. - ISBN 978-985-6441-73-1 : Б. ц.
; Аннотации статей и оглавление параллельно на русском и английском языке

ГРНТИ
УДК
Рубрики: ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ
   МЕТАЛЛООБРАБОТКА

   МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ИНЖЕНЕРИЯ ПОВЕРХНОСТИ

   КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ

   НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ

   КОМБИНИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

   ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ

   ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА

   ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА

   ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА

   НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

   ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ



Доп.точки доступа:
Залесский, Виталий Геннадьевич (доктор физико-математических наук ; род. 1971) \.\; Волочко, Александр Тихонович (доктор технических наук) \.\; Смягликов, Игорь Петрович (кандидат физико-математических наук) \.\; Ласковнев, Александр Петрович (доктор технических наук ; род. 1949) \.\; Клубович, Владимир Владимирович (доктор технических наук ; род. 1933) \.\; Белый, Алексей Владимирович (доктор технических наук ; род. 1950) \.\; Латушкина, Светлана Дмитриевна (кандидат технических наук) \.\; Изобелло, Александр Юрьевич (род. 1984) \.\; Басалай, Анна Владимировна (кандидат технических наук ; род. 1984) \.\; Физико-технический институт (Минск)
Свободных экз. нет