Трапашко, Георгий Алексеевич.     Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2014. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (16 назв.). - Б. ц. ; Резюме на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a47.33.31^96 ^a47.35.41^96 ^a05.27.06 УДК ^a621.383.049.77(043.3)^v4^zrus Рубрики: ОПТОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ    ФОТОШАБЛОНЫ    ФОТОЛИТОГРАФИЯ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ    ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ    СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ    АВТОРЕФЕРАТЫ Свободных экз. нет

Галай, О. Ф.     Оптимальные фототехнические процессы при автоматизированном изготовлении фотошаблонов плат печатного монтажа [Text] / О. Ф. Галай, Л. Н. Храмова. - Л. : [s. n.], 1980. - 18 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.75.002^v3^zrus ^a681.652:77^v3^zrus Рубрики: ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ПРОИЗВОДСТВА    ПЕЧАТНЫЙ МОНТАЖ    ФОТОШАБЛОНЫ    ФОТОТЕХНИКА Доп.точки доступа: Храмова, Л. Н. Свободных экз. нет

Изготовление фотошаблонов [Text] : темат. подборка / БелНИИНТИ. - Минск : [s. n.], 1987. - 21 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.75.002(01)^v3^zrus ^a681.652.53::771.5](01)^v3^zrus Рубрики: ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ФОТОШАБЛОНЫ Свободных экз. нет

Изготовление и применение фотошаблонов [Text] : темат. подборка / БелНИИНТИ. - Минск : [s. n.], 1986. - 16 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002^v3^zrus ^a681.652.53:77^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ФОТОШАБЛОНЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА Свободных экз. нет

Костанян, М. Г.     Маскирующие пленочные покрытия для применения в производстве фотошаблонов [Text] : обзор / М. Г. Костаньян. - М. : [s. n.], 1980. - 49 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002^v3^zrus ^a681.652:77^v3^zrus Рубрики: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ    ФОТОШАБЛОНЫ    ПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ Свободных экз. нет

Стеклянные подложки в производстве прецизионных фотошаблонов [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1967-1984 гг. / Б. Г. Грибов [и др.]. - М. : [s. n.], 1985. - 38 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:771.52^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ПРЕЦИЗИОННЫЕ ДЕТАЛИ    ФОТОШАБЛОНЫ    ПОДЛОЖКИ Доп.точки доступа: Грибов, Борис Георгиевич (доктор химических наук) Свободных экз. нет

Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук).     Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Соколов Сергей Иванович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2023. - 23 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—20 (34 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках ГРНТИ ^a81.35.13^v6 ^a47.35.31^v6 ^a47.03.05^v6 ^a05.27.06 УДК ^a621.3.049.77(043.3)^v4^zrus ^a621.791.947.2(043.3)^v4^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ    СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    КВАРЦ    КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО    ПОДЛОЖКИ (электроника)    ФОТОШАБЛОНЫ    ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА    ЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА    ЛАЗЕРНАЯ СВАРКА    ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ СВАРКА    ТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЖИМ    ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА    ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ    КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД Свободных экз. нет

Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960).     Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук / Шершнев Евгений Борисович. - Минск : [s. n.], 2024. - 45 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 30—42 (104 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках ГРНТИ ^a47.35.31^v6 ^a47.13.35^v6 ^a47.09.41^v6 ^a55.22.01^v6 ^a55.20.15^v6 ^a47.03.05^v6 ^a47.13.11^v6 ^a47.33.31^v6 ^a47.01.21^v6 ^a05.27.06 УДК ^a621.38-027.3:621.9.048.7(043.3)^v4^zrus ^a621.3.049.77(043.3)^v4^zrus ^a621.791.947.2(043.3)^v4^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ИННОВАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    АМОРФНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ПОДЛОЖКИ (электроника)    ФОТОШАБЛОНЫ    РЕЗОНАТОРЫ    КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    КВАРЦ    АЛМАЗЫ    ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ    ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Кристаллические материалы Свободных экз. нет

Шершнев, Евгений Борисович (кандидат технических наук, физик ; род. 1960).     Лазерные технологии и оборудование в электронике [Text] : [монография] / Е. Б. Шершнев, С. И. Соколов, В. А. Емельянов ; Министерство образования Республики Беларусь, УО "Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины". - Минск : Интегралполиграф, 2023. - 202 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 188—202 (179 назв.). - ISBN 978-985-6845-73-7 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.13.35^v6 ^a47.35.31^v6 ^a47.09^v6 ^a47.01.77^v6 ^a55.22.01^v6 ^a55.20.15^v6 УДК ^a621.38:621.9.048.7^v4^zrus Рубрики: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО    СТЕКЛЯННЫЕ ТРУБКИ    СТЕКЛОФОРМЫ    ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ    ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА    ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЕ    ЛАЗЕРНОЕ УПРОЧНЕНИЕ    ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ЛАЗЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    ФОТОШАБЛОНЫ    КВАРЦЕВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ    КОРПУСА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ    ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ Доп.точки доступа: Соколов, Сергей Иванович (кандидат технических наук); Емельянов, Виктор Андреевич (доктор технических наук ; род. 1948) Свободных экз. нет