Хатько, Вячеслав Владимирович (доктор физико-математических наук).     Структуры металл-диоксид кремния-полупроводник для интегральных микросхем [Text] : монография / В. В. Хатько. - Минск : БНТУ, 2009. - 233 с. - ^aБиблиогр.: с. 205-227 (246 назв.). - ISBN 978-985-525-326-7 : Б. ц. ГРНТИ ^a47.33.31 УДК ^v4^zrus^a621.3.049.772.1 ^v4^zrus^a621.3.049.774.2 Рубрики: СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    КРЕМНИЯ ДИОКСИД    ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    МОП-СТРУКТУРЫ Свободных экз. нет

Холов, Пайрав Алимахмадович (микроэлектроника ; род. 1988).     Золь-гель синтез пленок титаната бария и титаната стронция для применения в структурах нанофотоники и микроэлектроники [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Холов Пайрав Алимахмадович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 23 с. : ил. - ^aБиблиография: с. 17—20 (21 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках ГРНТИ ^a47.09.31^v6 ^a61.13.21^v6 ^a31.15.37^v6 ^a29.19.16^v6 ^a05.16.08 УДК ^a621.38-03:621.315.61(043.3)^v4^zrus ^a621.793:544.77.022.822(043.3)^v4^zrus ^a539.216.2(043.3)^v4^zrus Рубрики: НАНОФОТОНИКА    ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ПРОЦЕСС    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    ТИТАНАТЫ БАРИЯ    ТИТАНАТ СТРОНЦИЯ    СИНТЕЗ (хим.) Свободных экз. нет

Свадковский, И. В.     Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000 эВ [Text] : автореф. дис. ... канд. техн. наук / И. В. Свадковский. - Минск : [s. n.], 1993. - 20 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.9.048.7](043.3)^v3^zrus Рубрики: ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА    ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Свободных экз. нет

Раков, А. В. (микроэлектроника).     Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур [Text] / А. В. Раков. - М. : Совет. радио, 1975. - 176 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592-416:535.243.3^v3^zrus Рубрики: СПЕКТРОФОТОМЕТРИЯ    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ Свободных экз. нет

Ковалев, Лев Кузьмич (доктор технических наук, электротехника ; 1941—2014).     Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники [Text] : обзор / Л. К. Ковалев. - М. : [s. n.], 1982. - 84 с. - Б. ц. УДК ^a621.383:621.793.1(048.8)^v3^zrus Рубрики: КВАНТОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА    ПРОИЗВОДСТВО    ОПТОЭЛЕКТРОНИКА    ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Свободных экз. нет

Светоизлучающие тонкопленочные структуры и их применение [Text]. - Киев : [s. n.], 1987. - 19 с. - Б. ц. УДК ^a621.385^v3^zrus Рубрики: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ    ПРОМЫШЛЕННОЕ ПРИМЕНЕНИЕ Кл.слова (ненормированные): 0 ; светоизлучающие структуры Свободных экз. нет