Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук).

    Технология сверхбольших интегральных схем и оптико-механическое оборудование для микро- и наноэлектроники [Text] : [монография] / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси. - Минск : Беларуская навука, 2018. - 466, [1] с. : ил., цв. ил., табл., схемы. - ^aБиблиография: с. 458—461 (100 назв.). - ISBN 978-985-08-2323-6 (в переплете) : Б. ц.
; На обложке: Национальная академия наук Беларуси — 90 лет

ГРНТИ
УДК
Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
   НАНОЭЛЕКТРОНИКА

   ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ

   МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)

   ФОТОЛИТОГРАФИЯ

   ОПТИКО-МЕХАНИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ



Доп.точки доступа:
Точицкий, Яков Иванович (кандидат технических наук)
Свободных экз. нет



   

    Современное состояние и направления развития мультипликаторных центробежных компрессоров общего назначения [Text] : обзор / Г. Г. Петросян, В. М. Шишкин. - М. : [s. n.], 1986. - 51 с. - Б. ц.
УДК
Рубрики: ЦЕНТРОБЕЖНЫЕ КОМПРЕССОРЫ
   МУЛЬТИПЛИКАТОРЫ (техн.)



Доп.точки доступа:
Петросян, Г. Г.; Шишкин, В. М.
Свободных экз. нет