Вилья Пинеда, Номар Альберто (микроэлектроника). Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением [Text] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Вилья Пинеда Номар Альберто ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". - Минск : [s. n.], 2020. - 21 с. : ил., табл. - ^aБиблиография: с. 17—18 (10 назв.). - Б. ц. ; Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ МДП-СТРУКТУРЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ Свободных экз. нет |
Кудинов, Владимир Владимирович (доктор технических наук). Нанесение плазмой тугоплавких покрытий [Text] / В. В. Кудинов, В. М. Иванов. - М. : Машиностроение, 1981. - 192 с. - Б. ц.
ТУГОПЛАВКИЕ СОЕДИНЕНИЯ ПЛАЗМЕННАЕ НАПЫЛЕННЕ НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ Доп.точки доступа: Иванов, Владимир Максимович Свободных экз. нет |