Вопросы химии и химической технологии [Text] : республиканский межведомственный тематический научно-технический сборник. - [S. l. : s. n.], 1974. - 165 с. - Б. ц. ГРНТИ ^a61 ^a31 УДК ^v4^zrus^a54(082) ^v4^zrus^a66(082) Рубрики: СИЛИКАТЫ    ЭЛЕКТРОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ    ХИМИЯ Кл.слова (ненормированные): 0 ; Плазмохимический синтез Свободных экз. нет

Вопросы химии и химической технологии [Text] : республиканский межведомственный тематический научно-технический сборник. - [S. l. : s. n.], 1976. - 132 с. - Б. ц. ГРНТИ ^a61 ^a31 УДК ^v4^zrus^a54(082) ^v4^zrus^a66(082) Рубрики: ЗАЩИТНЫЕ ПОКРЫТИЯ    ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ЭЛЕКТРОДНЫЕ ПРОЦЕССЫ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ЭЛЕКТРОХИМИЯ    ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ    ХИМИЯ Свободных экз. нет

Артамонов, Анатолий Григорьевич.     Математическое регулирование и оптимизация плазмохимических процессов [Text] / А. Г. Артамонов, В. М. Володин, В. Г. Авдеев. - Москва : Химия, 1989. - 224 с. - ^aБиблиогр.: с. 218-220. - ISBN 5-7245-0285-2 : Б. ц. УДК ^a533.9:54^v4^zrus Рубрики: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ    ОПТИМИЗАЦИЯ Доп.точки доступа: Володин, Виктор Михайлович; Авдеев, Виктор Гордеевич Свободных экз. нет

Григорьев, Сергей Николаевич (1960- ).     Плазменная обработка [Text] / С. Н. Григорьев, С. В. Федоров. - Москва : ИТО, 2010. - 59 с. : ил. - (Библиотека технолога : в 6 кн. ; кн. 3. Современные технологические процессы и оборудование). - Б. ц. ГРНТИ ^a55.21 ^a81.35.33 УДК ^v4^zrus^a621.793.7 ^v4^zrus^a621.793.7 Рубрики: ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА    ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ    ПЛАЗМОТРОНЫ    ПЛАЗМЕННАЯ СВАРКА    ПЛАЗМЕННАЯ РЕЗКА    ПЛАЗМЕННАЯ НАПЛАВКА    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОСНАСТКА    ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ Доп.точки доступа: Федоров, Сергей Вольдемарович Свободных экз. нет

Крапивина, Светлана Алексеевна.     Плазмохимические технологические процессы [Text] / С. А. Крапивина. - Ленинград : Химия, Ленинградское отделение, 1981. - 247 с. - ^aБиблиография: с. 239—246 (181 назв.). - Б. ц. УДК ^a66-936.1:533.92^v3^zrus Рубрики: ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА    АЦЕТИЛЕН    УГЛЕВОДОРОДНОЕ СЫРЬЕ Свободных экз. нет

Интегрированные технологии микро- и наноструктурированных слоев [Text] / [А. П. Достанко и др.] ; под редакцией A. П. Достанко, В. Л. Ланина. - Минск : Бестпринт, 2013. - 188 с. : ил., табл. - ^aБиблиография в конце глав. - ISBN 978-985-6873-68-6 (в переплете) : Б. ц. ГРНТИ ^a47.13^96 УДК ^a621.3.049.77^v4^zrus ^a621.38-022.532^v4^zrus Рубрики: НАНОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    НАНОМАТЕРИАЛЫ    МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    СИЛИЦИДЫ    ИОННЫЕ ПУЧКИ    МИКРОСТРУКТУРЫ Доп.точки доступа: Достанко, Анатолий Павлович (доктор технических наук ; род. 1937); Аваков, Сергей Мирзоевич (кандидат технических наук); Ануфриев, Леонид Петрович (доктор технических наук ; род. 1945); Бордусов, Сергей Валентинович (доктор технических наук ; род. 1955); Ланин, Владимир Леонидович (доктор технических наук ; род. 1948) \.\ Свободных экз. нет

Данилин, Борис Степанович.     Вакуумно-технические проблемы ионного, ионно-химического и плазмохимического травления микроструктур [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1973-1984 гг. / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : [s. n.], 1984. - 56 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002:621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)    ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ Доп.точки доступа: Киреев, Валерий Юрьевич (1949— ) Свободных экз. нет

Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа AsupIII/supBsupV/sup [Text] : обзор / В. И. Светцов [и др.]. - М. : [s. n.], 1989. - 47 с. - Б. ц. УДК ^a621.315.592.2.002:621.794.4(048.8)^v3^zrus Рубрики: ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ    ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ Доп.точки доступа: Светцов, В. И. Свободных экз. нет

Паркин, А. А.     Исследование процесса плазмохимической полимеризации и разработка методов направленного формирования диэлектрических структур [Text] : автореф. дис. ... канд. техн. наук / А. А. Паркин. - Киев : [s. n.], 1982. - 18 с. - Б. ц. ГРНТИ ^a05.12.18 УДК ^a621.315.61:539.23 (043.3)^v3^zrus Рубрики: ДИЭЛЕКТРИКИ    ИССЛЕДОВАНИЯ    ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ Свободных экз. нет

Применение плазменной и плазмохимической технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов [Text] : обзор / В. Н. Бойных [и др.]. - М. : [s. n.], 1987. - 72 с. - Б. ц. УДК ^a621.382.026.002:621.9.04^v3^zrus Рубрики: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА    ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА    СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ Доп.точки доступа: Бойных, В. Н. Свободных экз. нет

Плазмохимические установки [Text] : обзор / И. Г. Гафаров [и др.]. - М. : [s. n.], 1991. - 54 с. - Б. ц. УДК ^a621.387.143(048.8)^v3^zrus Рубрики: ПЛАЗМОХИМИЯ    ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ    ПЛАЗМАТРОНЫ Доп.точки доступа: Гафаров, И. Г. Свободных экз. нет