Кострин, Дмитрий Константинович. Ионно-плазменные источники для плазмохимического синтеза функциональных покрытий [Text] : монография / Д. К. Кострин, А. А. Лисенков, А. И. Кузьмичев ; Минобрнауки России, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2019. - 165с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 150-163 (227 назв.). - ISBN 978-5-7629-2523-5 : р260 р. Содержание:
Металлизаторы вакуумные Кл.слова (ненормированные): 1 ; углеродсодержащие покрытия -- 1 ; осаждение покрытий -- 1 ; электрофизическое оборудование -- 1 ; плазма низкотемпературная -- 1 ; вакуумно-дуговой разряд -- 1 ; тлеющий разряд Доп.точки доступа: Лисенков, Александр Аркадьевич; Кузьмичев, Анатолий Иванович; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина) Свободных экз. нет |