Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: <.>R=47.13$<.>

Общее количество найденных документов : 1

Ар15-10235

    Ивлиев, Н. А.
    Метод и устройство трибометрической оценки концентрации органических загрязнений на поверхности диоксида кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / Н. А. Ивлиев. - Самара : [б. и.], 2015. - 15 с. : ил. - Библиогр.: 15 назв. - 100 экз. - 5 р.
    Содержание:

ГРНТИ	47.13.11	47.14.21
УДК	621.3.049.77(043)

Кл.слова (ненормированные):
подложки диэлектрические -- загрязнение -- трение скольжения
Аннотация: Создание метода и устройства трибометрической оценки концентрации органических загрязнений на поверхности диоксида кремния для контроля чистоты поверхности подложек с чувствительностью 10 ^-10г/cм².

Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)