Ар07-9323     Козлов, А. Н.     Разработка автоматизированного элионного технологического оборудования для производства изделий микрофотоэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. Н. Козлов. - М., 2007. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22(17 назв.) ГРНТИ 47.13.33 УДК 621.383.002.5-52(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)

Ар08-1542     Зайцев, Н. Г.     Аппаратно-программный комплекс для автоматизации технологического процесса производства приборов микро- и оптоэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / Н. Г. Зайцев. - Томск, 2007. - 20 с : ил. - Библиогр.: с. 18-20(15 назв.) ГРНТИ 47.01.85 УДК 621.3.049.76.002.5-52(043) 621.383.002.5-52(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)