АР97-2756 Лебедев, С. В. Совершенствование изоляции и уменьшение токовых утечек в структурах СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / С. В. Лебедев. - М., 1997. - 21 с. : ил. Библиогр.:с. 21(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР02-6649 Старостина, Е. А. Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :05.27.01 / Е. А. Старостина. - Черноголовка, 2001. - 19 с. : ил. Библиогр.: с. 18-19
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |