АР92-07522 Редин, В. М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин. - М., 1992. - 41 с. : ил В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 38-41(37 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР94-016 Попов, Г. В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов. - М., 1994. - 32 с. : ил В надзаг.: Моск.гос.техн.ун-т им.Н.Э.Баумана. Библиогр.: с.26-30(36 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР00-1837 Веденин, К. В. Моделирование процессов информационного обеспечения микроэлектронной технологии с применением методов искусственного интеллекта [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.16 / К. В. Веденин. - М., 2000. - 18 с. : ил. Библиогр.:с. 17-18(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР02-сф236 Бархоткин, А. В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин. - М., 1999. - 28 с. : ил. Библиогр.: с. 27-28(10 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1) |
АР02-8863 Никишина, С. В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина. - М., 2002. - 16 с. : ил. Библиогр.: с. 15-16(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР90-021444 Абрамова, Л. С. Разработка элементов и устройств системы управления процессом порезки щелочногалоидных монокристаллов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Л. С. Абрамова. - Харьков, 1990. - 18 с. : ил. В надзаг. : Харьк. политехн. ин-т им.В.И.Ленина. Библиогр.:с. 18(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар08-1542 Зайцев, Н. Г. Аппаратно-программный комплекс для автоматизации технологического процесса производства приборов микро- и оптоэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / Н. Г. Зайцев. - Томск, 2007. - 20 с : ил. - Библиогр.: с. 18-20(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |