Ар12-16870 Родякина, Е. Е. Морфология поверхности кремния при закалке и сублимации [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Е. Е. Родякина. - Новосибирск, 2012. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18
Кл.слова (ненормированные): кремний -- поверхностные явления -- собственные точечные дефекты -- эпитаксиальные технологии Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |