Ар11-9895 Никаноров, О. В. Синтезированные голограммы - проекторы Френеля для фотолитографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / О. В. Никаноров. - СПб., 2011. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (6 назв.). В надзаг.: С.-Петерб. гос. ун-т информ. технологий, механики и оптики.
Кл.слова (ненормированные): оптоэлектроника -- фотолитография -- голограммы-проекторы Френеля -- дифракционные решетки -- оптически прозрачные среды Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар11-15319 Патюкова, Е. С. Теоретическое изучение мицелл диблок-сополимеров в растворе и на поверхности [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.06 / Е. С. Патюкова. - М., 2011. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-26
Кл.слова (ненормированные): селективные растворители -- сверхтонкие пленки -- структурированная поверхность -- шаблоны -- фотолитография Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар11-23490 Полищук, Г. С. Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / Г. С. Полищук. - СПб., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 21 (5 назв.) В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- микроскопы -- оптические системы Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар13-1082 Медведев, В. В. Разработка методов спектральной фильтрации для источников экстремального ультрафиолетового излучения на основе лазерной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / В. В. Медведев. - Троицк , 2012. - 15 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-15
Кл.слова (ненормированные): фотолитография -- ультрафиолетовое излучение Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар13-16661 Полковников, В. Н. Многослойные зеркала для рентгеновской астрономии и проекционной литографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / В. Н. Полковников. - Н.Новгород, 2013. - 19 с. - Библиогр.: с. 15-18
Кл.слова (ненормированные): рентгеновская оптика -- астрономия -- фотолитография Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар14-5613 Корольков, В. П. Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.05 / В. П. Корольков. - Новосибирск, 2013. - 44 с. - Библиогр.: с. 35-44. - 120 экз.
Кл.слова (ненормированные): оптические элементы -- производство -- фотолитография Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар15-6830 Корепин, И. Н. Синтез голограмм-проекторов сфокусированного изображения для фотолитографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / И. Н. Корепин. - СПб., 2015. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (8 назв.). - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные): голограммы -- синтез -- сфокусированное изображение -- проекционная фотолитография Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |