АР10-сф28265 Козин, К. А. Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремния ФГУП "ГХК" [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / К. А. Козин. - Томск, 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 (12 нназв.)
Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые материалы -- производство -- кремниевые стержни -- стержневые реакторы -- хлорсиланы Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1) |