АР10-30035 Турцевич, А. С. Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. С. Турцевич. - Минск, 2010. - 52 с. : ил. - Библиогр.: с. 33-49 (137 назв.) В надзаг.: Ин-т физики им. Б.И. Степанова, Нац. АН Беларуси
Кл.слова (ненормированные): микроэлектронные приборы -- производство -- динамические оперативные запоминающие устройства -- микропроцессоры -- силовая электроника Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |