АР10-29738     Невшупа, Р. А.     Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Р. А. Невшупа. - М., 2010. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32 (37 назв.) ГРНТИ 81.29 47.13.11 81.13.30 УДК 621.52-192(043) 621.384-047.56(043) 620.3(043) Кл.слова (ненормированные): сверхвысоковакуумное оборудование -- трибодесорбция газов -- узлы трения -- механические системы -- электронные приборы -- производство -- нанотехнологии Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)