Ар11-сф10758 Усикова, М. А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / М. А. Усикова. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.)
Кл.слова (ненормированные): кремниевые интегральные схемы -- топологический анализ -- физико-химические методы -- послойное препарирование -- сохранение работоспособности Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1) |