Ар10-28763 Амиров, И. И. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ил. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)
Кл.слова (ненормированные): наноэлектроника -- микросистемотехника -- нанотехнология -- плазмохимическое травление -- плазмохимическое осаждение Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
АР10-29742 Копылов, П. Г. Исследование структурно-морфологических свойств поликристаллических углеродных пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / П. Г. Копылов. - М., 2010. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24 (11 назв.)
Кл.слова (ненормированные): алмазные пленки -- графитные материалы -- плазмохимическое осаждение -- химическая кристаллизация -- окисление Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар14-2736 Титаренко, А. А. Исследование влияния условий синтеза на микроструктуру и состав пленок нанокристаллического и ультрананокристаллического алмаза [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.15 / А. А. Титаренко. - Нальчик, 2013. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 . - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные): алмазные нанопленки -- плазмохимическое осаждение -- физико-химические свойства Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |
Ар15-6375 Семенов, А. В. Технология тонкопленочных солнечных модулей большой площади на основе аморфного и микрокристаллического кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. В. Семенов. - СПб., 2015. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18 (2 назв.). - 100 экз.
Кл.слова (ненормированные): солнечные модули -- фотоэлектрические преобразователи -- тонкие пленки -- плазмохимическое осаждение Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |