Ар13-2811 Вальковский, Г. А. Исследование структуры интерфейсов многослойных систем методами малоугольного рентгеновского рассеяния [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Г. А. Вальковский. - СПб., 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- многослойные системы -- неразрушающие методы исследования Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1) |