Ар10-27759

    Соловьев, В. В.
    Разработка метрологического обеспечения измерений геометрических и механических величин методами полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.15 / В. В. Соловьев. - М., 2010. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-34 (9 назв.)

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
нанотехнологии -- наноразмерные структуры -- наноструктурированные материалы -- геометрические размеры -- механические параметры -- средства измерения -- нанометровая точность -- сканирующая зондовая микроскрпия -- нанотвердомеры

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)