Ар11-23448

    Пинаев, А. Л.
    Создание и 3Д-характеризация металлических наноструктур на поверхности полимера с использованием метода динамической силовой литографии и сканирующей силовой микроскопии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.01 / А. Л. Пинаев. - СПб., 2011. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- динамическая силовая литография -- геометрические параметры -- измерение

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)