Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>R=47.13.30$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-4046

Амиров, И. И.
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро-наномеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ИЛ. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)

ГРНТИ	47.13.30	81.13.30
УДК	621.3.049.76-047.84(043)	621.38-022.532(043)	620.3(043)

Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- микросистемная техника -- наноструктуры -- плазменные технологии

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)