Поисковый запрос: (<.>U=621.382-047.84(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
| Ар10-1250
Овчинников, В. А.
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / В. А. Овчинников. - М., 2009. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-30 (17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| Ар10-2527
Васев, А. В.
Реконструкция поверхности GaAs(001) и их влияние на морфологию слоев при МЛЭ и вакуумном отжиге [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / А. В. Васев. - Новосибирск, 2009. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| Ар10-3358
Шумилов, А. С.
Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе [Текст] : автореф. дис. ... канд. фз.-мат. наук : 05.27.01 / А. С. Шумилов. - М., 2009. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар10-4336
Гусев, Е. Ю.
Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Е. Ю. Гусев. - Таганрог, 2009. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19 (24 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар11-2853
Шатунов, В. В.
Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.08 / В. В. Шатунов. - М., 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (8 назв.)
В надзаг.: Гос. НИИ химии и технологии элементоорган. соединений (ГНЦ РФ "ГНИИХТЭОС")
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- производство -- вспомогательные материалы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар11-3009
Номоконова, Н. Н.
Система контроля и анализа технических свойств интегральных элементов и устройств вычислительной техники по многоуровневой модели информативных параметров [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.05 / Н. Н. Номоконова. - Владивосток, 2010. - 40 с. : ил. - Библиогр.: с. 35-40 (60 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
вычислительная техника -- системы управления -- полупроводниковые компоненты -- производство -- контроль качества
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| Ар12-11205
Кравченко, А. А.
Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. А. Кравченко. - М., 2012. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25 (12 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- производство -- оборудование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар12-14659
Хлызов, В. А.
Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / В. А. Хлызов. - М., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (5 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- оптоэлектроника -- технология лазерного управляемого термораскалывания -- кремниевые пластины -- разделение на чипы -- стекла дисплейных панелей
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар13-5405
Зарубина, О. Н.
Межфазные превращения в системах AIIIBV-H2O и формирование поверхности полупроводниковых соединений в жидких средах [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / О. Н. Зарубина. - Томск, 2013. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (18 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- производство -- подготовка поверхности полупроводников
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар14-10052
Никулин, Ю. В.
Модификация структурных и магнитных свойств тонких пленок ферромагнитных металлов, наносимых на аморфные и монокристаллические подложки для приборов магнитоэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Ю. В. Никулин. - Саратов, 2014. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-23. - 150 экз.
Кл.слова (ненормированные):
магнитоэлектроника -- твердотельные приборы -- производство
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных