Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002:621.794(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 11 |
1. 
| АР91-10341
Абачев, М. К.
Исследование формирования глубоких щелей в кремнии при плазмохимическом и реактивном ионном травлении в галогеносодержащих газах [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. К. Абачев. - М, 1990. - 26 с
В надзаг.: АН СССР,Физ.-технол.ин-т. Библиогр.: с. 24-26(7,9 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР92-04229
Митрофанов, Е. А.
Применение масс-спектрометров для исследования процессов реактивного ионно-лучевого травления кремния и пленок диоксида кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Е. А. Митрофанов. - М., 1992. - 16 с. : ил
В надзаг.: Моск.хим.-технол.ин-т им.Д.И.Менделеева. Библиогр.: с. 15-16(10 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР94-5335
Бабанов, Ю. Е.
Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. Е. Бабанов. - Черноголовка, 1994. - 18 с.
В надзаг.:Рос.АН.,Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов.Библиогр.:с.16-18(18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР91-03706
Смирнов, В. П.
Композиции на основе десорбента "А" в технологии изготовления интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.01 / В. П. Смирнов. - М., 1991. - 27 с. : ил.
В надзаг. :ВНИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ(ИРЕА). Библиогр.:с. 27(5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР91-05742
Гусев, А. В.
Реактивное ионно-плазменное травление пленок алюминия для производства микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Гусев. - М., 1990. - 20 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 19-20(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР91-010825
Киреев, В. Ю.
Физико-химические и технологические основы проектирования и разработки процессов и оборудования сухого размерного травления функциональных слоев микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. Ю. Киреев. - М., 1991. - 40 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 35-40(45 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР90-021863
Галперин, В. А.
Исследование и разработка процессов прецизионного травления материалов в технологии производства БИС и СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. А. Галперин. - М., 1990. - 20 с. : табл.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 18-20(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар03-11663
Горобчук, А. Г.
Численное моделирование плазмохимических реакторов травления [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.13.18 / А. Г. Горобчук. - Новосибирск, 2003. - 16 с. : ил.
Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар07-2040
Сергиенко, А. А.
Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. А. Сергиенко. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар08-3812
Данилкин, Е. В.
Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Е. В. Данилкин. - М., 2008. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-26(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| Ар09-1368
Пивоваренок, С. А.
Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с медью и алюминием [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04 / С. А. Пивоваренок. - Иваново, 2008. - 15 с : ил
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных