Поисковый запрос: (<.>U=697.9:621.38(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6 |
1. 
| АР94-0364
Каракеян, В. И.
Научные основы нормализации основных параметров микроклимата технологии интегральных схем в чистых производственных помещениях [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук:05.27.01 / В. И. Каракеян. - М., 1994. - 43 с. : ил
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с.39-43 (40 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР97-0142
Дикевич, А. Я.
Разработка и исследование интегрального сорбционно-емкостного датчика для контроля относительной влажости в чистых технологических помещениях микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Я. Дикевич. - М., 1997. - 19 с. : ил.
Библиогр.:с. 18-19(18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР02-6007
Березина, Н. В.
Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.13 / Н. В. Березина. - М., 2001. - 27 с. : ил. + 70 экз.
В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). Библиогр.: с. 26-27 (11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| Ар03-13093
Савкин, А. В.
Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. В. Савкин. - М., 2002. - 24 с. : ил.
Библиогр.: с. 23-24 (10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| Ар11-23935
Севрюкова, Е. А.
Исследование закономерностей изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13 / Е. А. Севрюкова. - М., 2011. - 29 с. : ил. - Библиогр.: с. 29 (7 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
предприятия электронной промышленности -- стерильные помещения -- фильтрация воздуха
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| Ар14-12959
Черняков, Е. В.
Повышение энергоэффективности систем подготовки и распределения воздуха чистых помещений [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.23.03 / Е. В. Черняков. - СПб., 2014. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 (10 назв.). - 120 экз.
Кл.слова (ненормированные):
электронная промышленность -- промышленная вентиляция
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных