Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.382-022.532-047.84(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар12-4409

Песков, В. В.
Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. В. Песков. - Фрязино, 2012. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-25

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.382-022.532-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
наноэлектронные приборы -- производство -- травление

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)