Поисковый запрос: (<.>U=621.315.592.002:621.794(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 11 |
1. 
| АР93-6444
Чжан Хай-Ин
Физико-технологические основы ионно-плазменного травления карбида кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / Чжан Хай-Ин. - СПб., 1993. - 12 с
В надзаг.: С.-Петербург.гос. электротехн.ун-т. Библиогр.: с.12(2назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР94-0161
Сытов, И. П.
Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. П. Сытов. - Минск, 1993. - 18 с.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.17-18(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР95-1147
Клебанова, И. В.
Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / И. В. Клебанова. - М., 1994. - 13 с. : ил
В надзаг.: Моск.гос.авиац.ин-т. Библиогр.: с.13( 8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР90-023367
Горбатов, Ю. Б.
Исследование процессов травления ионными и атомными пучками, стимулированных потоком фторсодержащих радикалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / Ю. Б. Горбатов. - М., 1990. - 11 с.
В надзаг. : АН СССР. Физ.-технол. и-т. Библиогр.:с. 9-11(14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР90-016995
Багрий, И. П.
Исследование и разработка способов повышения эффективности плазмохимической микрообработки материалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. П. Багрий. - Киев, 1990. - 16 с.
В надзаг. : АН УССР. Ин-т кибернетики им.В.М.Глушкова. Библиогр.:с. 14-16(14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР90-026065
Панчук, О. О.
Взаимодействие теллурида кадмия с водными растворами бихромата калия в минеральных кислотах [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.01 / О. О. Панчук. - Львов, 1990. - 15 с. : ил.
В надзаг. : Львов. гос. ун-т им.И.Франко. Библиогр.:с. 14-15(11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР91-015584
Беневоленский, С. Б.
Повышение эффективности травления арсенида галлия в низкотемпературной плазме с использованием гетерогенного катализа и пассивации боковых поверхностей профиля травления продуктами полимеризации [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.13 / С. Б. Беневоленский. - М., 1991. - 20 с. : ил.
В надзаг. : Моск. авиацион. технол. ин-т им.К.Э.Циолковского. Библиогр.:с. 18(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| Ар03-8222
Абрамова, Е. А.
Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Е. А. Абрамова. - Воронеж, 2003. - 16 с. : ил.
Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| Ар05-302
Кушхов, А. Р.
Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. Р. Кушхов. - Нальчик, 2004. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| Ар05-2254
Апполонов, С. В.
Механизмы модификации электронной структуры, светоизлучающих свойств и состава поверхности пористого кремния в процессе водного дотравливания [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / С. В. Апполонов. - Ульяновск, 2005. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-22
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| Ар09-2889
Аракчеева, Е. М.
Полупроводниковые микроструктуры на основе соединений А В , полученные методом реактивного ионного травления [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Е. М. Аракчеева. - СПб., 2008. - 23 с : ил. - Библиогр.: с. 19-23(39 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных