Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.771.14.002:621.79(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

АР00-4670

Рыбачек, Е. Н.
Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01 / Е. Н. Рыбачек. - М., 1998. - 27 с. : ил.
Библиогр.:с. 25-27(12 назв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.3.049.771.14.002:621.79(043)

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)