Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002.5(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5 |
1. 
| АР93-03368
Фролова, Г. В.
Автоматизация синтеза проектных решений при создании технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07;05.13.12 / Г. В. Фролова. - М., 1993. - 24 с. : ил
В надзаг.Моск.гос.ин-т электронной техники(Техн.ун-т). Библиогр.: с.23-24(9назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР96-3568
Белоусов, В. М.
Разработка и исследование электроннолучевого оборудования для отжига и рекристаллизации структур интегральной электроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / В. М. Белоусов. - М., 1996. - 24 с. : ил
Библиогр.:с. 23-24(24назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР94-0487
Чепахин, В. Г.
Исследование и разработка магнетронных распылительных устройств с эффективным использованием материала мишени [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. Г. Чепахин. - М., 1994. - 21 с. : ил
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники (Техн.ун-т).Библиогр.:с.20-21 (9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР91-0197
Веремейченко, Г. Н.
Источники направленных потоков плазмы в парах металлов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / Г. Н. Веремейченко. - М., 1990. - 19 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 19(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР91-014048
Говядинов, А. Н.
Исследование тонкопленочного молекулярно-напыленного оксидного катода для вакуумных интегральных микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени 05.27.01 / А. Н. Говядинов. - Минск, 1991. - 17 с. : ил.
В надзаг. : АН БССР. Ин-т электроники. Библиогр.:с. 16-17(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных