Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002:776(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 34
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
| АР91-11345
Мануйлов, В. В.
Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / В. В. Мануйлов. - М., 1991. - 21 с. : ил
В надзаг.: НИИ физ.пробл. Библиогр.: с. 20-21(11назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР95-085
Михайлов, В. П.
Исследование и разработка магнитореологического субмикронного многокоординатного привода литографических установок для повышения их производительности [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / В. П. Михайлов. - М., 1995. - 16 с. : ил
Библиогр.: с.14-16(13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР95-0177
Архангельский, А. Б.
Разработка высокопроизводительных алгоритмов и инструментальных средств подготовки управляющих программ для фотонаборных установок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13:05.13.16 / А. Б. Архангельский. - М., 1995. - 24 с. : ил
В надзаг.:Моск.гос.авиац.технол.ун-т им.К.Э.Циолковского.Библиогр.:с.23-24 (10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР95-0211
Кольцов, Ю. И.
Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.04 / Ю. И. Кольцов. - М., 1994. - 53 с. : ил
В надзаг.:Моск.гос.ин-т электрон.техники(Техн.ун-т).Библиогр.:с.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР96-1731
Борзенко, Т. Б.
Исследование особенностей воздействия низкоэнергетичных электронов на полимерные резисты в процессах микроструктурирования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:05.27.01 / Т. Б. Борзенко. - Черноголовка, 1996. - 20 с. : ил
Библиогр.:с. 19-20(14назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР96-6128
Филатова, М. С.
Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова. - М., 1996. - 23 с.
В надзаг. : АН России,Физ.-технол.ин-т.Библиогр.:с. 21-23
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР97-2656
Кривоспицкий, А. Д.
Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / А. Д. Кривоспицкий. - М., 1997. - 38 с. : ил.
Библиогр.:с. 34-38(55 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР98-2253
Семин, Ю. Ф.
Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин. - М., 1998. - 16 с. : ил.
Библиогр.:с.14-16 (24 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР98-4413
Балашов, В. Н.
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / В. Н. Балашов. - М., 1998. - 39 с. : ил.
Библиогр.:с. 37-39(29 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР98-4539
Гайнуллина, Н. Р.
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.21 / Н. Р. Гайнуллина. - Казань, 1998. - 15 с.
Библиогр.:с. 13-15(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| АР98-5309
Марголин, В. И.
Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектроникне [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин. - СПб, 1998. - 29 с. : ил.
Библиогр.:с. 22-29
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
12.
| АР99-5648
Домненко, В. М.
Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко. - СПб, 1999. - 18 с. : ил.
В надзаг. :С.-Петерб. гос. ин-т точной механики и оптики (техн. ун-т). Библиогр.:с. 18(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
13.
| АР00-сф107
Мальцев, В. П.
Адгезия фоторезистов и ее влияние на процессы фотолитографии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / В. П. Мальцев. - М., 2000. - 25 с. : ил.
Библиогр.:с. 24-25(11 назв.)
Экземпляры всего 1: сф (1)
Свободны: сф (1)
Найти похожие
|
14.
| АР00-8400
Гайфуллин, Б. Н.
Методика разработки специального математического и программного обеспечения лабораторных литографических установок для комплексной автоматизации научных исследований микроструктур [Текст] : диссертация на соискание ученой степени канд.техн.наук в форме науч.докл.:05.13.18 / Б. Н. Гайфуллин. - М., 2000. - 33 л. : ил.
В надзаг. : Междунар. межакад. союз. Библиогр.:л. 32-33 (10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
15.
| АР00-9572
Ивин, В. В.
Исследование перспективных фотолитографических процессов с СУБ-0.2 мкм проектными нормами с помощью математического моделирования [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / В. В. Ивин. - М., 2000. - 22 с. : ил.
В надзаг. :Физико-технол. ин-т Рос.АН. Библиогр.:с. 22(6 назв.)*
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
16.
| АР01-1452
Назина, Л. И.
Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина. - Воронеж, 2000. - 24 с. : ил
В надзаг. : Воронеж. гос. технол. акад. Библиогр.:с. 23-24 (15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
17.
| АР02-1304
Калитеевская, Н. А.
Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская. - СПб., 2001. - 22 с. + 100 экз.
В надзаг.: Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе РАН. Библиогр.: с. 21-22(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
18.
| АР02-сф272
Грушевский, А. М.
Монтаж многокристальных модулей на гибких полиимидных носителях [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 / А. М. Грушевский. - М., 2002. - 53 с. : ил.
Библиогр.: с. 45-53(74 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
19.
| АР02-6564
Соколов, Д. В.
Методика нанооксидирования и травления поверхности n-InGaAs с помощью атомно-силового микроскопа [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.01 / Д. В. Соколов. - СПб., 2001. - 16 с. : ил.
Библиогр.: с. 15-16(5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
20.
| АР02-9203
Прудник, А. М.
Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник. - Минск, 2002. - 21 с. : ил.
В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
21.
| АР90-010365
Левченко, Е. Н.
Исследование процесса проявления электронорезиста с учетом закономерностей формирования в нем скрытого изображения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / Е. Н. Левченко. - Киев, 1990. - 16 с. : ил.
В надзаг. : АН УССР. Ин-т кибернетики им.В.М.Глушкова. Библиогр.:с. 16(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
22.
| Ар04-2980
Силаков, М. В.
Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / М. В. Силаков. - М., 2003. - 22 с. : ил.
Библиогр.: с. 21-22 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
23.
| Ар04-6808
Душкин, И. В.
Близкопольная Сканирующая Зондовая Микроскопия для формирования и измерения свойств наноразмерных структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. В. Душкин. - М., 2003. - 19 с. : ил.
Библиогр.: с. 19
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
24.
| Ар04-7219
Лапшин, Р. В.
Объектно-ориентированное сканирование для зондовой микроскопии и нанотехнологии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Р. В. Лапшин. - М., 2002. - 34 с. : ил.
Библиогр.: с. 33-34
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
25.
| Ар04-9190
Трунин, Д. А.
Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Д. А. Трунин. - М., 2003. - 22 с. : ил.
В надзаг.: Моск. физико-техн. ин-т (гос. ун-т). Библиогр.: с. 21(6 назввв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
26.
| Ар05-3776
Суханов, Я. Н.
Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов. - М., 2005. - 19 с. - Библиогр.: с. 17-19 (15 назв.). - 100 экз.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
27.
| Ар06-2415
Коробко, Ю. О.
Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Ю.О. Коробко. - Минск, 2005. - 22 с. - Библиогр.: с. 18-19
В надзаг.: Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
28.
| Ар06-6285
Орлов, О. М.
Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / О. М. Орлов. - М., 2005. - 39 с : ил. - Библиогр.: с. 35-39(34 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
29.
| Ар07-1141
Пестов, А. Е.
Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / А. Е. Пестов. - Н. Новгород, 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-18.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
30.
| Ар07-сф76
Цветков, Ю. Б.
Основы управления топологической точностью микролитографии [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Ю. Б. Цветков. - М., 2006. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-32
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных