Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 36
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
| АР92-04824
Гулидов, Д. Н.
Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Д. Н. Гулидов. - М., 1992. - 50 с. : ил
В надзаг.: Моск.Ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 46-50.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР93-05
Квасов, Н. Т.
Динамические явления и твердофазные релаксационные процессы в кремнии при ионных и фотонных воздействиях [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.07 / Н. Т. Квасов. - Минск, 1992. - 53 с. : ил
В надзаг.: Белорус.гос.ун-т. Библиогр.: с. 44-53(62 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР93-01718
Ророкин, В. М.
Разработка бесщелочного стекла и технологии эмалированных титановых подложек для микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:02.00.04 / В. М. Ророкин. - Челябинск, 1993. - 20 с. : ил
В надзаг.: Челяб.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с. 19-20(10 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР93-0810
Журавлев, А. В.
Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Журавлев. - М., 1993. - 20 с. : ил
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 19-20(8 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР93-01735
Голубев, В. В.
Исследование и разработка методов повышения эффективности контроля качества и надежности при производстве интегральных микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:08.00.20 / В. В. Голубев. - М., 1993. - 15 с. : ил
В надзаг.: Моск.гос.техн.ун-т им.Н.Э.Баумана. Библиогр.: с. 14-15(7назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР93-04208
Кононов, В. Ю.
Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов. - М., 1993. - 27 с. : ил
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т). Библиогр.: с.26-27(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР93-3550
Эмексузян, В. М.
Геттерирование и пассивация примесей и радиационных дефектов в кремнии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / В. М. Эмексузян. - Новосибирск, 1993. - 18 с.
В надзаг.: Рос.АН,Сиб.отд-ние,Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: 16-18(21 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР94-708
Суетин, Н. В.
Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин. - М., 1993. - 22 с.
В надзаг.: МГУ им.М.В.Ломоносова,НИИ ядер.физики. Библиогр.: с.18-22(34 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР95-1571
Крупенников, О. Г.
Повышение эффективности операции разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на пластины алмазными отрезными кругами [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.08 / О. Г. Крупенников. - Ульяновск, 1994. - 18 с. : ил
В надзаг.: Ульянов.гос.техн.ун-т. Библиогр.: с.17-18 (13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР95-6331
Ухов, А. А.
Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. А. Ухов. - СПб, 1995. - 14 с.
Библиогр.: с.13-14(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| АР94-5526
Левенец, В. В.
Оптимизация методов химической подготовки и пассивации поверхности Si с применением фторсодержащих кислот [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Левенец. - М., 1994. - 19 с. : ил
В надзаг.:НИИ физ. пробл.им.Ф.В.Лукина.Библиогр.:с.19(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
12.
| АР96-2818
Поляков, В. В.
Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. В. Поляков. - Таганрог, 1995. - 16 с
В надзаг. : Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. Библиогр.:с. 14-16 (18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
13.
| АР96-0242
Громов, Д. Г.
Исследование и разработка технологии получения термостабильных слабопроникающих контатктных систем кремниевых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / Д. Г. Громов. - М., 1996. - 25 с. : ил
Библиогр.:с. 24-25 (14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
14.
| АР96-5134
Хамаев, В. А.
Теория и технология процессов осаждения меди и золота периодическим током и их применение в микроэлектронике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.17.03 / В. А. Хамаев. - М., 1996. - 32 с. : ил
Библиогр.:с. 29-32 (41 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
15.
| АР98-2740
Суворинов, А. В.
Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / А. В. Суворинов. - М., 1998. - 34 с.
Библиогр.:с. 31-34(33 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
16.
| АР98-4394
Бутусов, И. Ю.
Неразрушающий электрический контроль структур SiO -Si в производстве МОП-транзисторов и МОП БИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / И. Ю. Бутусов. - Воронеж, 1998. - 18 с. : ил.
Библиогр.:с. 17-18(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
17.
| АР98-5878
Резникова, Е. Ф.
Химическое осаждение металлических пленочных микроструктур из паров летучих соединений металлов с помощью мощного высокочастотного наносекундного импульсного ультрафиолетового лазера [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук:02.00.04 / Е. Ф. Резникова. - Новосибирск, 1998. - 22 с. : ил.
Библиогр.:с.21-22
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
18.
| АР98-6361
Крылов, В. П.
Электрофизика статистических и релаксационных процессорных средств параметрического контроля интегральных микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.13 / В. П. Крылов. - М., 1998. - 31 с. : ил.
Библиогр.:с.27-31(36 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
19.
| АР94-0566
Зайцев, Н. А.
Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев. - М., 1994. - 51 с
В надзаг.: Моск. гос. ун-т электрон. техники (Техн. ун-т). Библиогр.:с.44-51 (62 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
20.
| АР99-3421
Мучинский, А. Н.
Численное моделирование диффузионных процессов в полупроводниках и электролитах [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.13.18 / А. Н. Мучинский. - Минск, 1998. - 19 с.
В надзаг. :Белорус. гос. ун-т. Библиогр.:с. 15-16(17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
21.
| АР01-2792
Семенова, О. В.
Прецизионная обработка поверхности подложек микроэлектроники порошками ультрадисперсного алмаза [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.03.01 / О. В. Семенова. - Красноярск, 2000. - 23 с. : ил.
Библиогр.:с. 21-23(20 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
22.
| АР01-3400
Сосунов, А. Г.
Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. Г. Сосунов. - М., 2000. - 24 с. : ил.
В надзаг. :Моск.гос.ин-т электрон.техники. Библиогр.:с. 23-24 (5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
23.
| АР91-01670
Шурдук, Б. К.
Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления нарушенного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.17.01 / Б. К. Шурдук. - М., 1990. - 19 с.
В надзаг. :Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. Библиогр.:с. 17-19(17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
24.
| АР90-025474
Новик, А. В.
Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. В. Новик. - Минск, 1990. - 16 с.
В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 14-16(17 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
25.
| АР90-020710
Калошкин, А. Э.
Разработка низкотемпературного фотохимического процесса создания защитных пассивирующих покрытий интегральных схем на основе пленок нитрида кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Э. Калошкин. - Минск, 1990. - 18 с.
В надзаг. : Минский радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 15-18(23 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
26.
| АР90-013671
Питиримов, И. М.
Упрочняющие технологии и материал для износостойкого инструмента ультразвуковой сварки микросоединений [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.16.01 / И. М. Питиримов. - Горький, 1990. - 24 с. : ил.
В надзаг. : Горьк. политехн. ин-т. Библиогр.:с. 23-24(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
27.
| АР90-025476
Райко, В. А.
Формирование силицидов кобальта и никеля в пленочных структурах металл-пористый кремний [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / В. А. Райко. - Минск, 1990. - 21 с.
В надзаг. :Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 18-21(26 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
28.
| АР90-021439
Шевченко, В. Н.
Дефектообразование при производстве КСДИ и разработка технологии, обеспечивающей их минимальную деформацию и повышение выхода годных [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / В. Н. Шевченко. - М., 1990. - 24 с.
В надзаг. : Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.:с. 23-24(10 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
29.
| АР90-026083
Пилипенко, В. А.
Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. А. Пилипенко. - Минск, 1990. - 33 с.
В надзаг. : АН БССР. Ин-т электроники АН БССР. Библиогр.:с. 27-3371 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
30.
| Ар03-1377
Филипенко, Н. А.
Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Н. А. Филипенко. - Таганрог, 2002. - 15 с. : ил.
Библиогр.: с. 14-15
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных