Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.77-047.84:776(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-23490

Полищук, Г. С.
Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / Г. С. Полищук. - СПб., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 21 (5 назв.)
В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики

ГРНТИ	47.13.35
УДК	621.3.049.77-047.84:776(043)

Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- микроскопы -- оптические системы

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)