Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.76.002:658.562(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 26
Показаны документы с 1 по 26 |
1. 
| АР91-10717
Бжеумихов, А. А.
Двухканальный метод стоячих рентгеновских волн в исследовании поверхностных слоев монокристаллов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. А. Бжеумихов. - М., 1991. - 19 с. : ил
В надзаг.: Моск.инж.-физ.ин-т. Библиогр.: с. 18-19(9 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР91-14414
Меликян, О. Г.
Теория дифракции рентгеновских лучей на идеальных кристаллах и гетероструктурах в условиях скользящего падения [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / О. Г. Меликян. - М., 1991. - 13 с. : ил
В надзаг.: АН СССР,Ин-т кристаллографии им.А.В.Шубникова. Библиогр.: с. 11(8назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР92-07501
Гамарц, Е. М.
Контроль информативных параметров полшупроводниковых пластин и структур в микроэлектронике оптическими методами [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / Е. М. Гамарц. - СПб., 1992. - 32 с
В надзаг.: Санкт-Петербург.электротехн.ин-т им.В.И.Ульянова (Ленина). Библиогр.: с. 28-32(44 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР99-3634
Саунин, С. А.
Методы оптического и микрозондового тестирования поверхности и их применение в микро- и наноэлектронике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / С. А. Саунин. - М., 1998. - 25 с. : ил.
В надзаг. :Гос. НИИ физических проблем им.Ф.В.Лукина. Библиогр.:с. 23-25(30 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР00-10115
Зайцев, С. И.
Методы зондовой диагностики микроструктур: теория, моделирование и обратные задачи [Текст] : диссертация в виде науч. докл. на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / С. И. Зайцев. - Черноголовка, 2000. - 61 с. : ил.
Библиогр.:с. 58-61 (40 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР02-сф242
Антоненко, К. И.
Голографическая диагностика газофазных процессов микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 / К. И. Антоненко. - М., 2000. - 35 с. : ил.
Библиогр.: с. 33-35(14 назв.)
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
7.
| АР02-5902
Шуринов, В. А.
Автоматизированный интроскопический комплекс на базе методов цифрового рентгенотелевидения и трансмиссионной томографии для технологического контроля изделий из микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.13 / В. А. Шуринов. - М., 2001. - 18 с. : ил. + 100 экз.
В надзаг.: Моск. гос. акад. приборостроения и информатики. Библиогр.: с. 18 (5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР02-7113
Лемешко, С. В.
Исследование и разработка сканирующей зондовой микроскопии с проводящими кантилеверами для создания и диагностики наноразмерных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / С. В. Лемешко. - М., 2002. - 23 с. : ил.
Библиогр.: с. 20-23 (28 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР02-7166
Лосев, В. В.
Развитие методов зондовой микроскопии для исследования и контроля поверхностей материалов и изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.13 / В. В. Лосев. - М., 2002. - 28 с. : ил.
Библиогр.: с. 26-28(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР02-8754
Новоселова, Е. Г.
Исследование поверхностных слоев методом рентгеновской рефлектометрии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.07 / Е. Г. Новоселова. - М., 2002. - 19 с. : ил.
Библиогр.: с. 17-19 (31 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| АР90-017442
Голубятников, И. В.
Автоматизированная система обработки графической информации, получаемой при оценке качества изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.01 / И. В. Голубятников. - М., 1990. - 17 с.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.:с. 16-17(8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
12.
| АР90-011136
Алекперов, С. Д.
Применение сканирующей туннельной микроскопии для анализа морфологии поверхности и ее модификация [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / С. Д. Алекперов. - М., 1990. - 26 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной техники. Библиогр.:с. 24-26(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
13.
| АР90-010463
Афанасьева, С. М.
Разработка рентгеновских методов скользящей Брэгг-Лауэ дифрактометрии для диагностики материалов микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. М. Афанасьева. - М., 1990. - 17 с. : ил.
В надзаг. : Моск. ин-т электронной ьтехники. Библиогр.:с. 16-17
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
14.
| Ар03-1085
Федоров, И. А.
Разработка конструктивно-технологических решений повышения разрешающей способности метода магнитной силовой микроскопии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. А. Федоров. - М., 2002. - 22 с. : ил.
Библиогр.: с. 20-22
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
15.
| Ар04-417
Баранов, А. М.
Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. М. Баранов. - М., 2003. - 34 с. : ил.
Библиогр.: с. 25-34 (116 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
16.
| Ар04-10952
Петров, А. Ю.
Оптимизация планов контроля при статистическом управлении технологическими процессами резистивных структур узлов приборов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / А. Ю. Петров. - СПб., 2004. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 21 (6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
17.
| Ар04-12770
Мишина, Е. Д.
Нелинейно-оптическая диагностика материалов микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / Е. Д. Мишина. - М., 2004. - 31 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-31(47 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
18.
| Ар06-205
Минкевич, А. А.
Новые методы теоретического анализа спектров рентгеновской рефлектометрии и дифрактометрии наноструктур [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.02 / А.А. Минкевич. - Минск, 2004. - 21 с : ил. - Библиогр.: с. 16-18
В надзаг.: Ин-т физики им. Б.И.Степанова Нац. АН Беларуси
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
19.
| Ар06-4532
Сеннов, Р. А.
Развитие методов микротомографии и определение средней энергии электронов, отраженных от многослойных микроструктур [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / Р.А. Сеннов. - Черноголовка, 2005. - 25 с. - Библиогр.: с. 23-25
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
20.
| Ар06-7043
Попо, Р. А.
Методология повышения эффективности технологических процессов микроэлектронного производства и надежности изделий микроэлектронной техники на базе спецвоздействий [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.02.22 / Р. А. Попо. - М., 2006. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32(42 назв.)
В надзаг.: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
21.
| Ар07-сф65
Истомина, Н. Л.
Физико-технические основы субмикрометровой дифрактометрии топологии поверхности, модифицируемой в ионно-плазменных процессах [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.04 / Н. Л. Истомина. - М., 2006. - 33 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-33 (39 назв.)
В надзаг.:"МАТИ"- рос. гос. технолог. ун-т им. К.Э. Циолковского
Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие
|
22.
| Ар07-8574
Карпов, А. Г.
Информационно-экспертная система для комплексной диагностики твердотельных нано- и микроструктур [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.13.01 / А. Г. Карпов. - СПб., 2007. - 30 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-30 (54 нзв.)
В надзаг.:С.-Петерб. гос. ун-т
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
23.
| Ар07-9116
Апрелов, С. А.
Многоволновая рентгеновская рефлектометрия для анализа многокомпонентных пространственно упорядоченных структур [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / С. А. Апрелов. - М., 2007. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-28
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
24.
| Ар08-1086
Руденко, К. В.
Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / К. В. Руденко. - М., 2007. - 45 с. - Библиогр.: с. 41-45. - 120 экз.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
25.
| Ар09-3849
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / С. Б. Симакин. - М., 2009. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 44-48(52 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
26.
| Ар10-3125
Манакова, А. Ю.
Измерение низкой альфа-активности материалов микроэлектроники: методика и оборудование [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / А. Ю. Манакова. - Ижевск, 2009. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-26 (13 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных