Поисковый запрос: (<.>U=621.3.049.76.002(043)<.>) |
Общее количество найденных документов : 67
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
| АР91-3632
Леонов, Ю. С.
Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.04.10 / Ю. С. Леонов. - М., 1990. - 30 с
В надзаг.: АН СССР,Физ-технол.ин-т. Библиогр.: с. 30(8назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
2.
| АР91-13363
Бакланов, М. Р.
Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO [Текст] : дис..д-ра хим.наук в форме науч.докл:02.00.04 / М. Р. Бакланов. - Новосибирск, 1991. - 47 с. : ил
В надзаг.: АН СССР,Сиб.отд-ние,Ин-т неорган.химии. Библиогр.: с. 44-47.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
3.
| АР91-15530
Курбанов, Х.
Разработка, исследование и освоение технологии производства изделий из коррозионно-стойких сплавов на основе алюминия методами пластического деформирования для микроэлектроники и электротехники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.16.05 / Х. Курбанов. - М., 1991. - 39 с. : ил
В надзаг.: АН СССР,Ин-т металлургии им.А.А.Байкова. Библиогр.: с. 36-39(55 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
4.
| АР91-15963
Нечипорук, Б. Д.
Эффекты структурного разупорядочения в спектрах комбинационного рассеяния света кристаллического и аморфного кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Б. Д. Нечипорук. - Киев, 1991. - 16 с.
В надзаг.: АН Украины,Ин-т полупроводников. Библиогр.: с. 15-16(12 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
5.
| АР92-05503
Филин, С. А.
Технология высокоэффективной очистки твердотельных микроэлектронных структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Филин. - М., 1992. - 20 с
В надзаг.: Моск.ин-т радиотехники,электроники и автоматики. Библиогр.: с. 19-20(16назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
6.
| АР92-06626
Чапланов, А. М.
Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:05.27.01 / А. М. Чапланов. - Минск, 1992. - 32 с
В надзаг.: АН Республики Беларусь.Ин-т электроники. Библиогр.: с. 28-32(45назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
7.
| АР92-7787
Казаков, А. И.
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / А. И. Казаков. - М., 1992. - 36 с
В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 33-36(39назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
8.
| АР92-8323
Медведев, Б. К.
Молекулярно-лучевая эпитаксия Ga As и гетероструктур GaAs/AlGaAs для приборов микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ-мат.наук:01.04.10:05.27.01 / Б. К. Медведев. - М., 1992. - 81 с. : ил
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т радиотехники и электроники. Библиогр.: с. 74-81(49назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
9.
| АР92-9684
Буравлев, А. В.
Стимулированная точечными дефектами твердофазная эпитаксиальная кристаллизация аморфного кремния и перестройка дефектов в ионно-имплантированных слоях [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. В. Буравлев. - Черноголовка, 1992. - 22 с. : ил
В надзаг.: Рос.АН,Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.: с. 19-20(20назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
10.
| АР92-010973
Миррахматов, С. Ш.
Повышение механической устойчивости структурно-неоднородных паяных соединений элементов микроэлектронных устройств [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. Ш. Миррахматов. - М., 1992. - 22 с. : ил
В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 20-22(12назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
11.
| АР94-2587
Волков, А. Б.
Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков. - М., 1994. - 15 с.
В надзаг.: НИИ физ.проблем им.Ф.В.Лукина. Библиогр.: с.15(16 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
12.
| АР94-089
Варцов, В. В.
Технология электроосаждения алюминия из неводных электролитов на выводные рамки электронных приборов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук (в форме науч.докл.):05.27.07 / В. В. Варцов. - Н. Новгород, 1993. - 33 с. : ил
В надзаг.: НИИ технологии и организации пр-ва. Библиогр.: с.32-33(21 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
13.
| АР94-0112
Гуляев, А. А.
Разработка методов и средств автоматизации технологических процессов ультразвуковой микросварки изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук (в форме науч.докл.) / А. А. Гуляев. - Воронеж, 1993. - 32 с. : ил
В надзаг.: Воронеж.политехн.ин-т. Библиогр.: с.26-32 (58 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
14.
| АР95-704
Радаев, А. А.
Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Радаев. - 1994. - 20 с. : ил
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
15.
| АР95-2350
Радаев, А. А.
Разработка статистического метода контроля дефектности рабочих пластин на основе моделирования выхода годных и его применение при анализе и прогнозировании производства изделий микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / А. А. Радаев. - М., 1994. - 20 с.
В надзаг.: Моск.энерг.ин-т (Техн.ун-т). Библиогр.: с.19-20 (8 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
16.
| АР95-6771
Симакин, С. Г.
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / С. Г. Симакин. - Черноголовка, 1995. - 23 с. : ил
В надзаг.: Рос.АН.Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. Библиогр.:с.22-23(15 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
17.
| АР96-417
Васильев, А. Г.
Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / А. Г. Васильев. - М., 1995. - 35 с
Библиогр.:с. 30-35 (36 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
18.
| АР96-672
Смирнов, А. С.
Высокочастотный разряд и его приложения в плазменной технологии и лазерной технике [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / А. С. Смирнов. - СПб, 1995. - 29 с.
Библиогр.:с. 25-29(31 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
19.
| АР95-5319
Михалев, П. А.
Технология изготовления упругих элементов клавиатур микроэлектроники из силоксановых композиций [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 02.00.16 / П. А. Михалев. - СПб., 1995. - 20 с. : ил
Библиогр.:с.19-20 (7 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
20.
| АР96-2623
Илларионов, О. И.
Статистическое регулирование технологических процессов изготовления микроэлектронных устройств [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук: 05.12.13 / О. И. Илларионов. - СПб, 1996. - 29 с.
В надзаг. : С.-Петербург. акад. аэрокосм. приборостроения. Библиогр.:с. 29-30(22 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
21.
| АР96-3529
Гельбух, С. С.
Исследование процессов роста субмикронных слоев на поверхности монокристаллов ниобия и кремния методом оже-электронной спектроскопии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.10 / С. С. Гельбух. - Саратов, 1996. - 14 с. : ил
Библиогр.:с.14(5 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
22.
| АР96-5696
Гринько, В. В.
Локальная модификация поверхности проводящих материалов в туннельном микроскопе [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. В. Гринько. - М., 1996. - 24 с. : ил
Библиогр.:с. 24-25
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
23.
| АР96-6816
Русакова, Ж. П.
Развитие методических основ электронной ОЖЭ-спектроскопии для анализа поверхности диэлектрических объектов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.09 / Ж. П. Русакова. - Рязань, 1996. - 15 с. : ил.
Библиогр.:с. 15(9назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
24.
| АР97-082
Гаврилов, С. А.
Особенности кинетики электрохимического формирования и свойства слоев пористого кремния [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Гаврилов. - М., 1997. - 31 с.
Библиогр.:с. 27-31(19 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
25.
| АР97-096
Фартушная, В. М.
Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. М. Фартушная. - М., 1996. - 22 с. : ил.
Библиогр.:с. 22(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
26.
| АР98-1213
Коньшин, И. В.
Пространственное распределение внедренных атомов при имплантации ионов средних энергий в полиметилметакрилат [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / И. В. Коньшин. - Минск, 1997. - 20 с. : ил.
В надзаг. :Беларус.гос. ун-т. Библиогр.:с. 16-18(14 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
27.
| АР98-6225
Ермаков, А. В.
Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / А. В. Ермаков. - СПб, 1998. - 16 с. : ил.
В надзаг. :С.-Петерб. гос. ун-т. Библиогр.:с. 15-16(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
28.
| АР99-270
Резвый, Р. Р.
Исследование методом эллипсометрии диэлектрических и полупроводниковых структур микроэлектроники [Текст] : диссертация в виде науч.докл.на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / Р. Р. Резвый. - М., 1998. - 65 с. : ил.
В надзаг. : Гос.унитарн.предприятие"Науч.-произв.предприятие"Пульсар" и АО открытого типа "НИИ микроэлектроники и нанотехнологии"Дельта".Библиогр.:с. 58-65(69 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
29.
| АР99-6300
Лучинин, В. В.
Структуро- и формообарзование микро- и наносистем на основе широкозонных материалов,обладающих полиморфизмом [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / В. В. Лучинин. - СПб, 1999. - 32 с. : ил
Библиогр.:с. 28-32 (81 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
30.
| АР00-297
Угольников, С. В.
Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.07 / С. В. Угольников. - М., 1999. - 28 с. : ил.
Библиогр.:с. 27-28(6 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных