Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=331.453:621.38(043)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

АР94-2646

Трубин, И. С.
Повышение эффективности защиты персонала и окружающей среды при проведении процессов вакуумно-плазменного травления функциональных слоев в производстве ИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. С. Трубин. - М., 1994. - 22 с.
В надзаг.: Моск.гос.акад.тонкой хим.технологии им.М.В.Ломоносова. Библиогр.: с.22(4 назв.)

ГРНТИ	47.01.76
УДК	331.453:621.38(043)	504.06(043)

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)