Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микросистемотехника<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

Ар10-28763

Амиров, И. И.
Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ил. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)

ГРНТИ	47.13.33	81.13.30
УДК	621.3.049.76-047.84(043)	621.38-022.532(043)	620.3(043)

Кл.слова (ненормированные):
наноэлектроника -- микросистемотехника -- нанотехнология -- плазмохимическое травление -- плазмохимическое осаждение

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

АР10-сф28181

Корляков, А. В.
Физико-технологические основы формирования базовых элементов микросистемной техники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. В. Корляков. - СПб., 2010. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 29-34 (67 нназв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные):
микросистемотехника -- технические решения -- проектирование -- изготовление -- экстремальные режимы эксплуатации

Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие

Ар11-19559

Гринькин, Е. А.
Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.16.09 / Е. А. Гринькин. - М., 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (7 назв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные):
микросистемотехника -- полиимидные покрытия -- регулярные поверхностные микрорельефы -- пористые микроструктуры -- физико-химические свойства -- физико-механические свойства -- эксплуатационные качества

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Ар12-19847

Редькин, А. Н.
Контролируемый газофазный синтез наноструктур для наноэлектроники, фотоники и микросистемной техники [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01 / А. Н. Редькин. - Черноголовка, 2012. - 41 с. : ил. - Библиогр.: с. 36-41 51 назв.)

ГРНТИ	47.13.33	47.33.33
УДК	621.38-022.532(043)	621.383-022.532(043)	621-181.4(043)

Кл.слова (ненормированные):
наноструктуры -- газофазный синтез -- наноэлектроника -- нанооптоэлектроника -- микросистемотехника

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)