Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=локальное зондовое окисление<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-3291

Сагунова, И. В.
Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / И. В. Сагунова. - М., 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (16 назв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.3.049.76-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- наноструктуры -- производство -- диагностика -- локальное зондовое окисление -- сканирующая электропроводящая микроскопия

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)