Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=контроль параметров плазмы<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар13-5184

Давлятшина, А. А.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04 / А. А. Давлятшина. - Иваново, 2013. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (7 назв.)

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.3.049.77-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- плазмохимическое травление -- контроль параметров плазмы

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)