Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=токопленочные материалы<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар13-17855

Демин, М. В.
Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / М. В. Демин. - М., 2013. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.)

ГРНТИ	59.35.29
УДК	543.27.08(043)

Кл.слова (ненормированные):
токопленочные материалы -- карбидокремниевая технология -- газовая среда -- мониторинг

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)