Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=сохранение работоспособности<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар11-сф10758

Усикова, М. А.
Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / М. А. Усикова. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.)

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.3.049.77(043)

Кл.слова (ненормированные):
кремниевые интегральные схемы -- топологический анализ -- физико-химические методы -- послойное препарирование -- сохранение работоспособности

Экземпляры всего 1: СФ (1)
Свободны: СФ (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)