Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=силановая плазма<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Ар10-27510

    Баранов, Е. А.
    Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.14 / Е. А. Баранов. - Новосибирск, 2010. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19

ГРНТИ
29.31.17
44.41.35
УДК
539.184(043)
621.383.51-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
электронно-пучковая плазма -- параметры -- сверхзвуковые струи -- оптическая эмиссионная спектроскопия -- тонкие пленки -- осаждение -- кремниевые пленки -- силановая плазма -- солнечные батареи -- производство

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)