Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=подготовка поверхности полупроводников<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Ар13-5405

Зарубина, О. Н.
Межфазные превращения в системах AIIIBV-H2O и формирование поверхности полупроводниковых соединений в жидких средах [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / О. Н. Зарубина. - Томск, 2013. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (18 назв.)

ГРНТИ	47.13.11
УДК	621.382-047.84(043)

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- производство -- подготовка поверхности полупроводников

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)